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長春市博盛量子科技有限公司
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產品型號：ATLEX-500-FBG品牌名稱：德國ATLLasertechnik德國ATLLasertechnik生產的ATLEX-FBG系列專為FBG刻寫設計，具備出色的空間相干性指標
產品型號：ATLEX-500-FBG
品牌名稱：德國ATL Lasertechnik
德國ATL Lasertechnik生產的ATLEX-FBG系列專為FBG 刻寫設計，具備出色的空間相干性指標。
產品特點：
· 軟電暈預電離
· 全固態高壓脈沖發生器
· 激光頭容積 < 3L
· TMC（全金屬陶瓷）管路
· 集成真空泵和鹵素過濾器
· 全部風冷，主動熱管理
· RS-485、RS232、USB及光纖接口
· 可沖洗光具座
· 能量穩定模式
· 符合歐洲CE標準
· 符合RoHS規范
產品參數：
| ATLEX-500-FBG產品參數 | |||
| 氣體介質 | ArF | KrF | 單位 |
| 波長 | 193 | 248 | nm |
| 高壓開關技術 | 固態開關 | | |
| 脈沖能量1 | 10 | 15 | mJ |
| 平均功率 | 4.0 | 6.5 | W |
| 空間相干性（垂直波束方向） | >300 | >300 | µm |
| 重復頻率 | 500 | Hz | |
| 脈沖寬度2 | 5 – 8 | ns | |
| 光束尺寸2(V x H) | 4 x 6 | mm | |
| 光束發散角2(V x H) | 1 x 2 | mrad | |
| 能量穩定性（標準偏差） | < 3 | % | |
| 尺寸（長x寬x高） | 540 x 470 x 370 | mm | |
| 重量 | 60 | kg | |
| 冷卻 | Cooling Air / Optional Liquid | | |
| 電力需求 | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz | | |
所有規格均為典型數據，如有因產品改進而更改的，恕不另行通知。
1 在重復頻率情況下測得： 應用能量穩定模式將會有10%的輸出能量損失。
2 典型值，FWHM
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