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上海衡鵬企業發展有限公司
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3軸圓柱坐標潔凈機械手臂特點：超潔凈無塵間用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SCR3000CS系列適用于半導體生產設備內部
3軸圓柱坐標潔凈機械手臂特點： |
超潔凈無塵間用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SCR3000CS系列 |
適用于半導體生產設備內部，檢測設備等的晶圓搬運 |
機械手臂標準臂長: 100mm, 130mm, 160mm, 200mm |
適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式 |
配備動作監視器 |
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 |
全軸采用2相步進電機 |
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運玻璃基板 |
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式 |
手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質 |
可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供的手指 |
3軸圓柱坐標潔凈機械手臂基本參數： |
使用環境 | 潔凈間內的大氣環境 |
手臂 | 單臂 |
到達距離 | 340mm (手臂第3關節中心到達距離) |
升降軸行程 | 200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm |
可搬運質量 | 3kg (手臂第3關節處基準) |
如需詳細產品參數 請聯系我們
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