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上海衡鵬企業發展有限公司
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PLASMA桌面型多功能等離子設備概要：是針對研發、試產需求設計的桌面型多功能等離子處理系統
PLASMA桌面型多功能等離子設備概要： |
是針對研發、試產需求設計的桌面型多功能等離子處理系統。其緊湊可靠的設計可在真空腔室內產生密集、均勻的等離子體，適用于等離子表面處理、表面刻蝕以及其它多種工藝應用。
PLASMA桌面型多功能等離子設備特點： |
設計緊湊的桌面型等離子工藝平臺，易于與廠務端連接 |
可靠的腔體結構設計，確保工藝腔體具備的氣密性與耐用性 |
優秀的進氣、排氣設計，保證工藝過程的均勻性 |
支持多種電極形式與最多4路工藝氣體，適用于處理各種產品并適應多種工藝要求 |
直觀的圖形控制界面，通過觸屏可實時觀察、控制工藝過程 |
13.56MHz射頻電源與自動匹配系統，具有優異的穩定性和可重復性 |
需要詳細參數資料，請聯系我們
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