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上海衡鵬企業發展有限公司
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ALPHAPLASMA等離子清洗機AL18特點：改善DieBonding改善WireBonding改善錫球焊接改善倒裝底部填充（FCUnderfill）改善塑封（Molding）/封膠ALPHAPLASMA等離子清洗機AL18選項：進口干泵系統（含相關附件）信號燈塔-紅黃綠三色額外的處理氣體線路-最多至4路氣體旋轉臺-φ200mm
ALPHAPLASMA等離子清洗機AL18特點： |
改善Die Bonding |
改善Wire Bonding |
改善錫球焊接 |
改善倒裝底部填充（FC Underfill） |
改善塑封（Molding）/封膠 |
ALPHAPLASMA等離子清洗機AL18選項： |
進口干泵系統（含相關附件） |
信號燈塔-紅黃綠三色 |
額外的處理氣體線路-最多至4路氣體 |
旋轉臺-φ200mm，旋轉速度可調 |
ECR機構 |
包裝，運輸 |
ALPHAPLASMA等離子清洗機AL18規格： |
等離子源 | 2.45Ghz微波等離子源，600W |
腔體 | 鋁.長250mm，寬250mm，深290mm，18L |
外觀尺寸 | 長530mm，寬600mm，高550mm |
處理氣體 | 1路氣體+數字MKS流量控制器 |
真空腔門 | 鉸鏈門+觀察窗 |
觀察窗 | UV與微波屏蔽保護 |
GUI 7"觸摸屏 | Window CE操作系統 |
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