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鄭州科探儀器設備有限公司


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真空電阻測試臺

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更新時間:2024-04-30 08:16:54瀏覽次數:127次

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產品簡介

真空電阻測試臺,一體式不銹鋼腔體,手動調節探針,正面留有觀察窗,反面留有透光孔。高低溫配置。

詳細介紹

一、真空電阻測試臺的原理介紹:
(1)一體式不銹鋼腔體,手動調節探針,正面留有觀察窗,反面留有透光孔。
(2)高低溫配置,KT-Z4019MRL4T是一款便攜式探針臺,結構小巧,功能使用,成本較低,可以滿足基本實驗的要求。
(3)特別之處在于顯微鏡和探針臺采用分體結構,使得探針部分能從整個探針臺系統中獨立出來,可以應用于輻照實驗中,該探針臺也可放置高低溫箱中,用于芯片的三溫測試。
(4)多探針結構可實現多路測試。配合接地良好的鋁制屏蔽盒,增加了抗干,擾,能力,其測試數據更加準確。
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二、真空電阻測試臺KT-Z4019MRL4T技術參數:

真空腔體

類型

高溫型室溫到350

高低溫型 室溫到350  室溫到-196

腔體材質

304不銹鋼 6061鋁合金 可選

腔體內尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體重量

不銹鋼材質 1.5KG     鋁合金材質 0.5KG

腔體上視窗尺寸

Φ42mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離)

腔體抽氣口

KF16法蘭(其余接口規格可轉接)

腔體真空測量口

KF16法蘭(其余接口規格可轉接)

腔體進氣口

6mm快擰 6mm快插

腔體冷卻方式

腔體水冷+上蓋氣冷

腔體水冷接口


腔體正壓

0.05MPa

腔體真空度

機械泵≤5Pa 5分鐘)  分子泵≤5E-3Pa30分鐘)

樣品臺

樣品臺材質

不銹鋼 銀銅合金 純銀塊

銀銅合金 純銀塊

樣品臺尺寸

26x26mm

樣品臺加熱方式

電阻加熱

電阻加熱 液氮制冷

樣品臺-視窗 距離

11mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm

樣品臺測溫傳感器

PT100型熱電阻

樣品臺溫度

室溫到400

室溫到400  室溫到-196

樣品臺測溫誤差

±0.5

樣品臺升溫速率

高溫100/min  低溫7/min

溫控儀

溫度顯示

7寸人機界面

溫控類型

標準PID溫控 +自整定

溫度分辨率

0.1

溫控精度

±0.5

溫度信號輸入類型

PT100 (可選K  S  B型熱電偶)

溫控輸出

直流線性電源加熱

直流線性電源加熱+液氮流速控制器

輔助功能

溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數接口

溫控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重量

5.6KG

探針

電信號接頭

配線轉接 BNC接頭   BNC三同軸接頭  SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2

電學性能

絕緣電阻 4000MΩ     介質耐壓 200V    電流噪聲 10pA

探針數量

4探針(可擴展5探針)

探針材質

鍍金鎢針 (其他材質可選)

探針尖

10μm

手動探針移動平臺

X軸移動行程

20mm    ±10mm(需手動推動滑臺)

X軸控制精度

500μm

R軸移動行程

120°    ±60°(需手動旋轉探針桿)

R軸控制精度

500μm

Z軸移動行程

2mm    ±1mm

Z軸控制精度

50μm(需手動螺紋調節探針桿)








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