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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司


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小型氣敏探針臺(tái)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

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更新時(shí)間:2024-04-29 09:39:05瀏覽次數(shù):85次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

小型氣敏探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T,4探針手動(dòng)調(diào)節(jié),純銀加熱臺(tái),-196℃至350℃(溫控精確#177;0.5)

詳細(xì)介紹

小型氣敏探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T探針臺(tái)用途: 手動(dòng)探針臺(tái)又稱探針測(cè)試臺(tái)主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái),探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座,配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析,抽查測(cè)試等用途 探針臺(tái)系統(tǒng)組成: 探針臺(tái)臺(tái)體+顯微鏡+探針座+探針夾具+探針+測(cè)試源表(請(qǐng)注意無(wú)測(cè)試源表就構(gòu)成不了系統(tǒng),探針臺(tái)只是提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái),一切數(shù)據(jù)的測(cè)量都需要依靠測(cè)試源表來(lái)完成) 探針臺(tái)測(cè)試環(huán)境: 可提供的測(cè)試環(huán)境有:常溫、高溫、高低溫測(cè)試、真空高低溫、高壓、輻射以及磁場(chǎng)環(huán)境。

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小型氣敏探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T參數(shù)

真空腔體

類型

高溫型室溫到350

高低溫型 室溫到350  室溫到-196

腔體材質(zhì)

304不銹鋼 6061鋁合金 可選

腔體內(nèi)尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體重量

不銹鋼材質(zhì) 1.5KG     鋁合金材質(zhì) 0.5KG

腔體上視窗尺寸

Φ42mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離)

腔體抽氣口

KF16法蘭(其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接)

腔體真空測(cè)量口

KF16法蘭(其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接)

腔體進(jìn)氣口

6mm快擰 6mm快插

腔體冷卻方式

腔體水冷+上蓋氣冷

腔體水冷接口


腔體正壓

0.05MPa

腔體真空度

機(jī)械泵≤5Pa 5分鐘)  分子泵≤5E-3Pa30分鐘)

樣品臺(tái)

樣品臺(tái)材質(zhì)

不銹鋼 銀銅合金 純銀塊

銀銅合金 純銀塊

樣品臺(tái)尺寸

26x26mm

樣品臺(tái)加熱方式

電阻加熱

電阻加熱 液氮制冷

樣品臺(tái)-視窗 距離

11mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm

樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器

PT100型熱電阻

樣品臺(tái)溫度

室溫到400

室溫到400  室溫到-196

樣品臺(tái)測(cè)溫誤差

±0.5

樣品臺(tái)升溫速率

高溫100/min    低溫7/min

溫控儀

溫度顯示

7寸人機(jī)界面

溫控類型

標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定

溫度分辨率

0.1

溫控精度

±0.5

溫度信號(hào)輸入類型

PT100 (可選K  S  B型熱電偶)

溫控輸出

直流線性電源加熱

直流線性電源加熱+液氮流速控制器

輔助功能

溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口

溫控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重量

5.6KG

探針

電信號(hào)接頭

配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭   BNC三同軸接頭  SMA 接頭 香蕉插頭 線長(zhǎng)1.2

電學(xué)性能

絕緣電阻 4000MΩ     介質(zhì)耐壓 200V    電流噪聲 10pA

探針數(shù)量

4探針(可擴(kuò)展5探針)

探針材質(zhì)

鍍金鎢針 (其他材質(zhì)可選)

探針尖

10μm

手動(dòng)探針移動(dòng)平臺(tái)

X軸移動(dòng)行程

20mm    ±10mm(需手動(dòng)推動(dòng)滑臺(tái))

X軸控制精度

500μm

R軸移動(dòng)行程

120°    ±60°(需手動(dòng)旋轉(zhuǎn)探針桿)

R軸控制精度

500μm

Z軸移動(dòng)行程

2mm    ±1mm

Z軸控制精度

50μm(需手動(dòng)螺紋調(diào)節(jié)探針桿)







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