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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
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更新時(shí)間：2024-04-24 15:55:44瀏覽次數(shù)：71次
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簡(jiǎn)要描述：流量計(jì)數(shù)量：5個(gè)，（根據(jù)客戶需求標(biāo)定 氣體 量程 進(jìn)氣口和出氣口） 氣體環(huán)境密封 6探針真空探針臺(tái)測(cè)試腔流量規(guī)格：500 ml/min精準(zhǔn)度：#177;1.0% S.P.（≥30% F.S.）#177;0.30% F.S.（＜30% F.S.）重復(fù)精度：#177;0.2% F.S響應(yīng)時(shí)間：≤1 s密封形式：金屬密封接頭尺寸：6 mm漏率：＜1#215;10-8 Pa#183;m3......
1、氣體環(huán)境密封 6探針真空探針臺(tái)測(cè)試腔
測(cè)試夾具要求：可實(shí)現(xiàn)XYZ移動(dòng)；
測(cè)試腔：同時(shí)滿足靜態(tài)/動(dòng)態(tài)測(cè)試，304不銹鋼材質(zhì)，可在紫外燈下保證氣密性測(cè)試；
測(cè)試樣品數(shù)：同時(shí)測(cè)試8個(gè)樣品，可進(jìn)行頻率-阻抗測(cè)試、插指電極和場(chǎng)效應(yīng)管測(cè)試；
測(cè)量溫度：室溫---300 ℃
控溫精度：±1 ℃
顯示精度：±0.1 ℃
測(cè)溫傳感器：PT100
升溫斜率：1-10 ℃/min
通訊類型：RS485
加熱功率：500 W
測(cè)試腔容積<2 L
2、氣體環(huán)境密封 6探針真空探針臺(tái)測(cè)試腔
流量計(jì)數(shù)量：5個(gè)，（根據(jù)客戶需求標(biāo)定 氣體 量程 進(jìn)氣口和出氣口）
流量規(guī)格：500 ml/min
精準(zhǔn)度：±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(＜30% F.S.)
重復(fù)精度：±0.2% F.S
響應(yīng)時(shí)間：≤1 s
密封形式：金屬密封
探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本
該探針臺(tái)的承片臺(tái)X/Y/Z三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下調(diào)節(jié)，其中X方向調(diào)節(jié)范圍：0－30mm；y方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程，通過(guò)顯微鏡觀察，使探針對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)后，即可進(jìn)行檢測(cè)。
接頭尺寸：6 mm
漏率：＜1×10-8 Pa·m3/s
通訊接口：RS485
4、樣品12*10mm，探針可移動(dòng)范圍x-y 1-10mm，z軸
5、每個(gè)樣品上方一個(gè)紫外燈，四個(gè)燈連成燈串外置一個(gè)可控開(kāi)關(guān)。紫外燈可更換，樣品上方2cm。
6、加熱板上有個(gè)鍍金襯底，用來(lái)連接?xùn)艠O。
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