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堀場儀器(上海)有限公司
GA-370痕量氣體分析儀
實現對高純度氣體連續監測,主要應用于空分和半導體行業。
實現對高純度氣體中的痕量雜質氣體 (CO, CO2 和 CH4) 的超高感度連續測量。
一般情況下,作為工業用氣體使用的氧氣,氮氣是通過空氣分離來制造的。
首先將除去水分和CO2的原料空氣通入分離裝置,分離裝置時利用氮氣、氬氣和氧氣三者氣體的沸點不同進行分離出不同氣體。
氫氣和氦氣也是利用類似的氣體分離裝置制備。
GA-370測量實例。高純度氮氣、氬氣、氧氣制造行業痕量氣體的測定。
除去水分、CO2后原料氣體中痕量氣體的測量。
交替流動調制方式雙光路非分光紅外吸收原理
GA-370用一束紅外光透過檢測室射入檢測器,測量過程中通過切換電磁閥將采用氣體和參比氣體切換通入檢測室。
測量樣氣和參比氣體使用相同的氣體(例如零點氣體)時,無法產生調制信號,因此不會產生漂移,解決了 痕量氣體分析中的零點漂移宜問題。
而且使用雙光路檢測氣室,以相反的相位導入測量樣氣和參比氣體,可實現了長期安定穩定運行,無需光學調整。
型號 | GA-370 |
可測量的氣體種類 | CO, CO2, 和CH4 |
高純氣體種類 | N2, O2, He, Ar, H2, 空氣 |
測量組分數目 | 1 組分或 2 組分 |
測量原理 | 交替流動調制方式 |
量程 | 0 to 1/2/5/10 ppm |
檢出限 (2σ) | 10 ppb |
重復性 | ≤ ± 2% F.S. |
直線性 | ≤ ± 2% F.S. |
零點量程 | ≤±0.02ppm/天,≤±0.03ppm/周 |
量程漂移 | ≤±2% F. S./天 ,≤±3%F .S./周 |
響應時間(T90) | ≤ 180s |
流量 * | 測量氧氣:約 3.5 L/min;參比氣體:約 3.5 L/min |
模擬輸出 | 最多可選兩路絕緣輸出 (2 組分); |
安裝環境 | 環境溫度0- 40°C |
環境濕度 | ≤85% |
顆粒物 | 低于環境空氣基準 |
震動 | 0.29 m/s2,頻率≤100 Hz |
外形尺寸和重量 | 430(W) × 221(H) × 555(D) mm (含突起部分);約18 kg |
電源 | 100 - 240 V AC,≤ ±10% (電壓 :25 0V ) |
功率 | 約100 VA |
* 注 1) 參比氣體和量程氣由用戶提供,氣瓶的精度需滿足測試要求。
* 注 2) GA-370 痕量氣體分析儀在特殊場合下并不安全。例如,在含H2的環境中使用時需配合防爆小屋以避免爆炸。
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GA-370痕量氣體分析儀
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