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FPM濃度計,CS-153

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更新時間：2022-08-12 14:45:58瀏覽次數(shù)：283次

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堀場儀器（上海）有限公司

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產(chǎn)品簡介

FPM濃度計,CS-153

詳細介紹

概要
規(guī)格

概要

CS-153是一款高精度的化學藥液濃度計，適用于半導體制造中濕法蝕刻制程的嚴苛要求。蝕刻制程使用FPM藥液刻蝕二氧化硅和去除晶圓表面的顆粒。CS-153可持續(xù)監(jiān)測FPM藥液(HF/H2O2/H2O)中各個成分，在每一次藥液需要替換或補充時向用戶發(fā)出信號。因此可使FPM藥液的濃度保持在一個適當?shù)姆秶胁⒖杀苊獠槐匾乃幰禾娲?/p>

特征

監(jiān)測周期大約為3秒，支持300mm工藝的濃度管理

實現(xiàn)了以大約2秒為監(jiān)測周期(*)的高速響應。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時反饋濃度信息。

*不包含藥液的置換時間、冷卻時間

小巧化設計有利于節(jié)省清洗裝置的空間由于底面面積只有原來的2/3(*)左右，這種小巧化設計有利于清洗裝置節(jié)省空間。可以很容易地組裝到清洗裝置中。

*和本公司產(chǎn)品CS-327系列進行比較

通過減少清洗工藝中的批次不良，提高產(chǎn)量

通過濃度計的信號輸出，進行FPM溶液的補給控制，從而實現(xiàn)高再現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而推進產(chǎn)量的全面提高。

全自動監(jiān)測與簡易控制

用戶只需引入FPM溶液即可。監(jiān)測是全自動方式，因此開始監(jiān)測后不需要進行任何控制。另外，由于參照光譜測量時使用的是空氣，所以不需要用水。

通過采取全面的氣泡對策

在脫泡槽中分離氣泡，在監(jiān)測過程中進一步利用電磁閥把氣泡混入監(jiān)測單元內(nèi)的發(fā)生次數(shù)抑制在限度。

采用DC24V，實現(xiàn)高安全性

電源采用DC24V低壓電，提高了安全性以避免觸電事故的發(fā)生。并且，由于內(nèi)置漏水傳感器，在發(fā)生漏水時可以切斷SC-1溶液的供應等，采取緊急措施。

規(guī)格

型號規(guī)格	CS-153: 無冷卻單元 CS-153C: 冷卻單元一體型
測量樣品	FPM(HF/H2O2藥液)
測量原理	吸收光譜測定法
濃度計算原理	溫度補償型多變量解析法
測量范圍	HF: 0.00至10.00% H₂O₂: 0.00至10.00% H₂O: 80.0至100.0% 如需其它量程信息，請與HORIBA聯(lián)系。
再現(xiàn)性 (峰-峰)	TMAH: ± 0.30% H₂O₂: ± 0.30% H₂O: ± 2.0%
藥液條件	CS-153: 溫度: 20至30°C 流量: 20至60 mL/min. 壓力: 0.10至0.20 MPa CS-153C: 溫度: 20至80°C 流量: 20至40 mL/min. 壓力: 0.10至0.20 MPa
測量周期	最小約 2 秒 (不包含藥液的置換時間和冷卻時間)
設備溫度	20 至25°C
操作面板	1) 溫度值顯示: HF、過氧化氫、水 2) 報警信號的顯示(HF、過氧化氫)：濃度下-下限、濃度下限、濃度上限、濃度上-上限 3)報警信號值的設定(HF、過氧化氫)：濃度下-下限、濃度下限，濃度上限、濃度上-上限
串行輸入/輸出	RS-232C 1) 濃度數(shù)據(jù): HF、過氧化氫 2)報警信號值的設定(HF、過氧化氫)：濃度下-下限、濃度下限、濃度上限、濃度上-上限并行輸入DC12?30V(光電耦合器絕緣) 并行濃度報警(ON/OFF)
并行輸出	開路集電極輸出為ON 時的電流：5mA 開路集電極輸出為OFF時的電壓：30V 1)報警信號輸出(TMAH、過氧化氫)：濃度下-下限、濃度下限、濃度上限、濃度上-上限 2)裝置異常 3)漏液
模擬輸出	4?20mA(2輸出：TMAH濃度、H₂O₂濃度的2輸出) *與量程規(guī)格技術(shù)規(guī)格無關，可以使4?20mA輸出對應于0?10%濃度。(請在訂貨時)
電源	24 V DC ± 10%, 2 A
外形尺寸	CS-153: 205 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm CS-153C: 291 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm
重量	CS-153: 約11 kg CS-153C: 約12 kg
連接配管尺寸	導入用、排出用外徑均為3mm(內(nèi)徑均為2mm )
配管接頭	Nippon Pillar Super型