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加熱系統(tǒng) LSC系列

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更新時間：2022-08-12 14:23:15瀏覽次數(shù)：121次

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產(chǎn)品簡介

加熱系統(tǒng) LSC系列

詳細介紹

概要
規(guī)格

概要

HORIBA STEC在售的液體加熱系統(tǒng)已經(jīng)能夠滿足目前高科技工業(yè)的需求，LSC-A100可以不需要載氣并提供大流量氣化，LSC-A100能夠提供穩(wěn)定的氣化后的液體，例如TESO 60SCCM和H2O 2SLM。

所有的設(shè)備操作可以在設(shè)備前端的操作界面上實現(xiàn)。一種可選的袖珍PC型的PDA可以用來監(jiān)視LSC的操作狀態(tài)，并且去記錄和分析操作數(shù)據(jù)。

LSC系列是一種針對諸如TEOS等液體的液體氣化系統(tǒng)，歷史證實這是一種很受歡迎的系列。LSC-A100是LSC系列中的一種型號，可以產(chǎn)生大流量的蒸汽。和之前的型號比較，新的LSC-A100可以在沒有載氣的情況下提供穩(wěn)定的液體氣化，可以傳送穩(wěn)定持續(xù)的蒸汽供應(yīng)（如600ccm的TEOS，2SLM的H2O）。

特征

大流量氣化
LSC-A100提供穩(wěn)定的液體氣化，諸如TEOS 600SCCM和H2O 2SLM
所有的設(shè)備操作可以在設(shè)備前端的操作界面上實現(xiàn)
一種可選的袖珍PC型的PDA可以用來監(jiān)視LSC的操作狀態(tài)，并且去記錄和分析操作數(shù)據(jù)。

規(guī)格


Flow rate generated	H2O 2SLM, TEOS 600 SCCM (Max.)
Operating pressure	Max. 1.33kPa
Source tank volume	2.7L
Heat regulation method	PID control by the heat regulator
Liquid surface detection method	Floating switch
Internal mass flow controller	SEC-8400 series
Air pressure valve	Bellows type
Materials in liquid connection and gas contact area	SUS316L, PFA
Operating Temperature	20 to 35°C
External input	Air pressure valve open/close, mass flow controller flow rate setting signal (0 to 5 V DC/0 to 99% F.S.), emergency stop signal, auto zero signal (option)
External output	Temperature alarm, liquid level H.H. alarm, liquid level signal (H, M, L), READY signal, mass flow controller flow rate output signal ((0 to 5 V DC/0 to 99% F.S.), thermoregulated bath internal fan stop alarm, valve voltage monitor (option)
Power source	AC 100 V, single phase 50/60 Hz, 1.5 kVA
Other	Auto-recharge system: Can be connected to LU series.

* The flow rate control range varies with the type of liquid.
* SCCM and SLM are symbols indicating gas flow rate (mL/min, L/min at 0°C, 101.3 kPa).