技術原理：
（1）采用雙介質阻擋放電形式產生等離子體，所產生等離子體的密度是其他技術產生等離子體密度的1500倍，低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。
（2）放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。
（3）基本過程：
過程一：高能電子的直接轟擊
過程二：O原子或臭氧的氧化O2+e→2O
過程三：OH自由基的氧化H2O+e→OH+H、H2O+O→2OH、H+O2→OH+O
過程四：分子碎片+氧氣的反應
應用對象：
（1）等離子體產生的高能電子能量高，自由基密度大，因此絕大部分有毒有害物質均能被分解，且處理對象廣泛，對《國家惡臭污染控制標準》中規定的八大惡臭物質硫化氫、氨、三甲胺、甲硫醇、甲硫醚、二硫化碳、苯乙烯、二甲二硫均能有效去除??
（2）禁止用于處理含易燃易爆等揮發性物質的廢氣（比如噴漆廢氣、噴涂廢氣、煉油化工廢氣、含汽油酒精廢氣、含天那水廢氣、含沼氣廢氣等等）。
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