GPH-DHDO含有兩部分氣體凈化器(一個用于除氧另一個用于除水),兩個凈化器用1/4"不銹鋼管和兩個針閥連接在一起,可以與任何科晶混氣系統連接。在室溫下,它將氣態雜質降低到ppm級。它可將99.9%純度的惰性氣體如(氮、氦、氖、氬、氪、和氙)中的H2O、O2、CO2、H2和CO以及非甲烷的烴類化合物降至< 0.1 ppm,以及可將H2中的H2O、O2、CO2降至< 0.1 ppm。此外此設備帶有加熱功能,可以加熱到300℃對除氧除水單位進行再生,方便長期循環使用。
技術參數
產品名稱 | 惰性氣體凈化系統-GPH-DHDO |
產品特點 | 輸入:輸入氣體純度要求:<1000 ppm(99.9%)。 輸出:清除雜質至<0.1ppm (02≤0.1 ppm H20,-76℃露點溫度)。 304L不銹鋼罐(<10Ra EP)。 再生操作簡單方便。 內置數字溫度控制器和氣體流量計控制。 再生后凈化多達80L惰性氣體。 設備需在270℃下再生(需使用5N純度的95%N2+5%H2氣體) |
電源 | 220V 50Hz 功率:500W(加熱過程中) |
較大壓力輸出 | 0.5MPa |
工作溫度 | 室溫-300℃ |
氣體泄漏率 | <2×10-9 atm cc/sec He |
溫度控制器 | 控溫精度±1℃ |
較大氣流 | 400ml/min |
外形尺寸 | 445L×400W×190H mm |
使用提示 | 您可以購買精密質子流量計,輸入氣體更加準確(圖一)。 此系統可以和本公司所有的管式爐和CVD系統相連接(圖二) 圖一 圖二 |
質量認證 | CE認證 |
質保期 | 一年質保期,終生技術支持。 特別提示:1、耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 |
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