OTF-1200X-VT-USPA是一款帶超聲霧化以及進料系統的雙溫區立式管式爐，其爐管直徑可制作為100mm。它可以將氣體或者溶液霧化后噴入加熱爐管中，因此也可以用來制備PVD、CSS或CVD涂層。采用PID方式進行溫度調節，可設置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1 ℃。爐體下端安裝有一移動架以方便移動。
技術參數
產品名稱 帶超聲霧化以及進料系統的1200℃立式爐-OTF-1200X-VT-USPA 管式爐系統 雙溫區立式管式爐可用于加熱樣品。 容積式喂料器可將固態粉料不斷送入管式爐中進行連續燒結或熱處理。 超聲霧化模塊可利用低振動能量將液體霧化，之后利用自重或低壓壓縮空氣噴入管式爐中。 立式管式爐 容積喂料器 超聲霧化模塊 工作功率 總功率6KW 每個溫區：3KW 工作電源 AC 208-240單相，50/60Hz 工作溫度 1200℃（<1hr）每個溫區 連續工作溫度 1100℃每個溫區 加熱速率 ≤20℃/min 控溫精度 ±1℃ 爐管尺寸和材質 包含一長度為1000mm的石英管。 OD：100mm，ID：95mm。 氧化鋁管堵可懸掛在頂部法蘭處避免熱輻射。 爐管升級：如客戶另付費用，可用莫來石管（60mm-100mm）代替石英管，管式爐的使用溫度可升至1250℃ 加熱區長度 200mm（溫區1） 200mm（溫區2） 總加熱長度：400mm 恒溫區長度 300mm（兩溫區設置同樣溫度） 溫控系統 采用PID方式調節溫度，可設置30段升降溫程序。 具有超溫及斷偶報警功能。 通信端口：RS485。 可安裝PC控制軟件對數據進行實時采集。 真空密封法蘭 爐管兩端裝有不銹鋼密封法蘭，真空計和閥門。 氣體出氣口與KF25D相連接。 氣體進氣口與6.35軟管相連接。 上端密封法蘭內部焊有不銹鋼勾，用于客戶懸掛樣品。 如想增加抽氣速率以便獲得較高的真空，建議您將標配的軟管接頭更換成KF25轉接頭（如左圖）。 如需要子啊惰性或還原性氣體條件下使用，建議您將標配的軟管接頭更換成VCR雙卡套接頭（如左圖）。 真空度 10E-2 torr（用機械泵） 10E-5 torr（用分子泵） 漏氣率<5 mTorr/min 加熱元件 1300℃摻鉬鐵鉻鋁 設備尺寸 550 L×380 W×520 H mm（不含移動架） 600 L×600 W×1200 H mm（包含移動架） 凈重 約80kg（不含移動架） 運輸尺寸 48"（L）×40"（W）×72"（H） 質保期 一年質保期，終生維護（相關耗材除外，如爐管加熱元件密封圈易耗件） 質量認證 CE認證。 所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA認證。 若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證 應用注意事項（為滿足客戶應用要求，可另加費用為您定制特殊法蘭） 客戶在使用前可能會校準溫度來獲得準確的爐內溫度。 請點擊下圖來了解如何利用立式爐在真空或者氣氛環境下進行樣品的淬火。 方法1：采用傳統的剪斷懸掛線的方式是的樣品自由落下（如圖1、2） 方法2：采用電磁釋放的方式使得樣品自由落下（如圖3、4） 圖1 圖2 圖3 圖4 可定制一樣品基座，將本系統升級為—HPCVD（混合物理化學氣沉積）爐（圖5） 可對尺寸小于1英寸的樣品進行釬焊（在樣品上方加一載重）（圖6） 3溫區立式爐也可以用于該系統中（圖7） 圖5 圖6 圖7 警告 爐管內氣壓不可高于0.02MPa； 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時會更加精確安全； 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態； 進入爐管的氣壓流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊； 石英管的長時間使用溫度<1100℃； 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。 
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