名稱

1200℃多坩堝依次移動型管式爐--OTF-1200X-II-ZL

開啟式管式爐

雙溫區管式爐：兩個獨立的溫控系統分別獨立控制兩個溫區

加熱區長度：溫區1:200mm, 溫區2:200mm

爐管材料：高純石英

爐管尺寸：外徑: 60 ×內徑: 54×長: 760 mm

溫度曲線圖(兩個溫區設置在800℃時所測，僅供參考）

工作溫度：1200℃（<1hr)

連續工作溫度：1100℃

控溫精度：+/-1℃

真空密封

配有不銹鋼密封法蘭，上面安裝有不銹鋼截止閥和機械壓力表。

進氣端法蘭接口為Φ6.35卡套接頭，出氣端法蘭接口為KF25接口。

法蘭密封圈采用水冷卻，使用時需要通入冷卻水，可在本公司選購循環水冷機。

真空度：10E-2 torr（采用機械泵），10-E5 torr(采用分子泵)。

坩堝移動機構（轉輪式法蘭）

一根鎧裝熱電偶通過左端法蘭通入到爐管內部，并與坩堝相連接(圖1)。

通過步進電機驅動使坩堝移動，并和熱電偶和坩堝一起移動，實時監測樣品的溫度。

進氣端法蘭轉輪式法蘭（圖2）。

可同時在轉輪系統中放入4個坩堝，可交替將放入4種材料的石英坩堝自動送入到石英管中（可在真空狀態或氣氛保護狀態進行運作）。

坩堝移動控制

通過一步進電機控制坩堝移動的速度和位置。

可控制坩堝較小移動位移為1mm。

坩堝較大移動距離為200mm。

防腐型數顯真空計

配有一數顯防腐型真空計。

當氣壓在10mbar以上時，不需因測量氣體種類不同而進行系數轉換。

對于氣體的壓力檢測具有較高的精確度和重復性。

因為傳感器上鍍有涂層，所以具有較好的抗腐蝕性。

測量范圍：3.8x10-5 -1125 Torr。

混氣系統

此套設備中配有一2路混氣系統

輸出功率：18W

工作溫度：5-45℃

氣壓：3×106Pa

精度：±1%FS

質量流量計量程：

1:0-100sccm

2:1-199sccm

可根據客戶要求選購1-5路供氣系統

產品尺寸

2400mm（L）×600mm（W）×1300（H）mm

質保期

一年質保期，相關耗材除外，如爐管加熱元件密封圈易耗件

質量認證

CE認證

所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA認證

若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CSA認證。

國家

名稱：一種小型熱等靜壓爐裝置

編號：ZL-.0

使用注意事項

爐管內氣壓不高于0.02MPa。

由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時會更加精確安全。

當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態。

進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。

石英管的長時間使用溫度<1100℃。

對于樣品加熱是實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需要時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

應用注意事項

此款管式爐具有多種用途。

熱蒸發：把蒸發料放在坩堝里，通過移動坩堝來精確找到所需要的蒸發溫度。

HPCVD：和熱蒸發相似，可通入反應氣體與蒸發的物料反應后再沉積。

可用于制作多層二維晶體。

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