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湖南宇晶機器股份有限公司
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總功率：148KW尺寸：W4500×D6000×H3250mm機器重量：9(t)設備專門用于IT 制造業結構件真空鍍膜加工，各系統單元和總體構成滿足光學和功能薄膜生產工藝要求，適用AR膜、NCVM顏色膜、金屬裝飾膜、金屬功能膜、AF功能膜等。The equipment is specially used for vacuum coating processing of struct......
1) 前級真空：由旋片泵、 羅茨泵構成;
2) 高真空：擴散泵、 超低溫冷凝水捕集泵(Polycold) , 真空室和擴散泵冷阱;
3) 抽氣系統：由各級泵、 管道和閥門，在系統的控制下完成啟動、 粗抽精抽、 待命和維持流程。
| 項目 | 規格 |
| 成膜系統 | 1）中頻電源旋轉陰極李生圓柱靶*1, 另外預留對靶位（電源可轉換分別驅動兩套靶） 2）8舟阻抗式蒸發源*2; 3）離子轟擊棒*4。 |
| 工作模式 | 離子清洗、 加熱蒸發，石英晶體薄膜厚度控制器監控膜厚并自動判停。 |
| 工藝流程 | 裝夾－抽真空－離子清洗－電子槍蒸渡－阻抗式蒸發AF- 進氣、 出爐。 |
| 功率 | 總功率148KW, 平均功率48KW |
| 設備外尺寸及總重 | 1）主框架及控制柜，不開門 W4500× D6000× H3250 , 開門 W4500×D7300× H3250; 2）粗抽泵組及粗抽管占地：2000×1500; 3）主框架外部必要的操作和維護維護空間：水平方向外延伸 800mm; 垂直向上延伸 400mm 4）總重：9 噸 |
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