電子無塵車間
光學微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室,目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)*的重要設施。近幾年來,由于技術之創(chuàng)新發(fā)展,對于產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目,而我公司的設計理念及施工技術在行業(yè)中則處于地位。
光學微電子凈化工程一般包括
1、 潔凈生產區(qū)
2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)
3、 管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)
4、 設備區(qū)(包括凈化空調系統(tǒng)應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)
光學微電子凈化工程凈化原理
氣流→初效凈化→空調→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌
等顆粒 → 回風百葉窗→初效凈化 重復以上過程,即可達到凈化目的。
光學微電子凈化工程凈化參數
換氣次數100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風速10級、100級0.30.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。
溫度4565%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電。
噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%30%;照度300LX。