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廈門邁凱倫精瑞科儀有限公司

高真空磁控濺射鍍膜機

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更新時間:2022-01-27 12:37:54瀏覽次數:268次

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高真空磁控濺射鍍膜機 沈陽-托帕 CK400
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高真空磁控濺射鍍膜機 沈陽-托帕 CK400 1.系統主要由濺射室、永磁磁控濺射靶(三個靶)、直流電源、全自動調諧射頻電源、樣品臺、泵抽系統、真空測量系統、氣路系統、電控系統等組成。 2.濺射室極限真空度:≤6.6x10-5?Pa (經連續烘烤除氣后);? 系統真空檢漏漏率:≤5.0x10-7Pa.l/S; 系統從大氣開始抽氣:濺射室40分鐘可達到6.6x10-4?Pa; 系統停泵關機12小時后真空度:≤5Pa 3.真空室為D型手動前開門結構,腔體打開方式采用手動前開門結構,表面進行電化學鈍化處理 4.濺射室中配有3套60高性能永磁共焦磁控濺射靶(濺射靶角度可調),各靶可獨立/順次/共同工作,磁控靶通水冷卻,磁控靶配有氣動擋板結構。 5.系統配有500W直流電源2臺,500W全自動調諧射頻電源1臺 6.加熱旋轉樣品臺可放置一片樣品,?具有連續旋轉功能,旋轉0—20轉/分連續可調,可加溫至500℃。 7.系統配有氣體質量流量控制進氣系統 。 8.安裝臺架:整個設備安放在一個用承載式標準電箱上,箱體均進行噴塑處理。拆卸方便占地小 9、提供冷卻水循環 1.0國內含稅價;
人民幣
189800

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