CT-010噴碳模塊主要應用于CUU-010高真空噴金儀,這種集成化設計的插入式碳蒸發模塊為碳涂層設定了新的標準。CT-010模塊可以插入CCU-010低壓和CCU-010 高壓基本單元,立即準備就緒。應用包括掃描電鏡,透射電鏡和任何其他需要高質量碳膜的工藝。
CT- 010采用,*和技術的碳纖維纏繞系統。這樣就可以在不改變碳源的情況下進行多達50次的涂層。曾經一次 碳纖維部分已蒸發,一個新的部分被自動推進,廢纖維落入一個方便的集水盤。除了易 于使用外,自動纏繞系統還允許在一個工藝循環中控制沉積任何厚度的碳膜。易于選擇的涂層模式可實 現安全的涂層,從溫敏樣品薄膜的溫和蒸發到具有 高功率,適用于光纖應用中的厚層。智能功率控制與 脈沖蒸發、自動快門后面的脫氣和膜厚監測相結合,提供準確的層厚,并避免任何可能導致表面不均勻的起泡現象。
模塊特點:
· 采用創新性的自動跟蹤系統(專li技術)監控zui多2米長的碳絲,通過卷軸收放碳絲。
· 以“常規"和“柔和"模式發送脈沖電涌,非常容易地在樣品上實現快速鍍膜和高精度碳鍍膜,以滿足各種需要。
· 設有氣體控制器,把用于輝光放電的空氣精確地輸送到基片的表面上。
· 通過精確地等離子體輸出控制,可以廣泛應用在改造各種樣品的表面性質上。
· 采用統一的電氣和氣體接口,與CCU-010 HV和CCU-010 LV主體機配套使用。
指 標 參 數
外形尺寸: 250× 160×80 (mm) 模塊重量 :2.6kg
靶材尺寸: 碳繩 控制模式: 微處理器控制
功率: 450W 濺射電流: 10-20A
濺射時間: ≤900s 濺射氣體 : 氬氣、空氣等(可選)