| 徠卡全手動正置材料顯微鏡-Leica DM3 XL概述 | ||
| 徠卡全手動正置材料顯微鏡-Leica DM3 XL檢驗系統，快速檢測，快速響應。在微電子和半導體的檢驗、過程控制或缺陷和故障分析中，檢測速度快，響應速度快。視場寬敞30%，可快速掃描zui大6"樣品組件，DM3 XL檢驗系統憑借大視場能更快地識別缺陷，提高工作效率。 DM3 XL檢驗系統為中等預算用戶提供了品質，是微電子和半導體理想的檢驗系統。 | ||
| 徠卡全手動正置材料顯微鏡-Leica DM3 XL性能 | ||
| • 快速檢測，快速響應，視場寬敞30%，DM3 XL檢測系統能有效節省檢驗時間 • 快速掃描zui大6"的樣品組件，放大倍率0.7X宏觀物鏡即刻采集35.7mm的視場 • 更多細節盡收眼底，常規物鏡看不到的區域在宏觀概覽下無所遁形，可靠檢測 晶片邊緣或中心顯影不足的區域，檢測不均勻的徑向膜厚度，工作更高效 • 適用于所有相襯觀察方法的LED，提供恒定色溫，真彩色成像，始終可看到相 同顏色樣品，獲得可復制的結果，LED使用壽命可達35000小時，且低能耗， 節約成本 • 專業的光學特性，采用斜射照明檢驗側面、邊緣或碎屑，以簡單有效的方式從 不同角度照亮樣品，從而實現各種形貌的可視化。借助深暗場對比檢測樣品較 低層中的微小劃痕或小顆粒 • 不同樣品–可變載物臺插件，有種類豐富的載物臺插件供選擇，滿足各種尺寸 試樣的檢測需要 • 工作舒適直觀，采用人體工學設計，舒適性好，操作更簡單 | ||
| 技術參數 | ||
| 系統 | Leica DM3 XL技術參數 | |
| 顯微鏡支架 | 固定的金屬支架 | |
| 調焦 | 2檔調焦（粗調/微調，采用1μm測微尺刻度，帶頂部調焦限位裝置）或 3檔調焦（粗調/微調，采用1μm和4μm測微尺刻度，帶頂部調焦限位裝置） 扭矩粗調焦，可調載物臺高度擋塊 | |
| 載物臺沖程 | 30mm | |
| 入射光 | 堅固的入射光軸，帶4位反射鏡轉盤 | |
| 適用于BF/DF/POL/DIC和FLUO： ›帶斜射照明 ›帶彩色編碼光圈輔助（CCDA) ›帶中心孔徑可變光闌 ›帶入射光濾片匣（雙濾片，直徑32mm） | ||
| 下列光源可適應所有入射光軸： ›LED-燈箱，帶入射光亮度內部顯微鏡空件 ›鏡像室106，適用于兩種光源的同步調整 ›熒光照明SFL 100、4000和7000 ›EL6000、Hg50、Hg100、Xe75 ›12V100W鹵素光源（106或107/2系列燈箱），帶獨立變壓器 | ||
| 物鏡轉盤/物鏡 | 5孔 BF/DF M32、6孔 BF M25物鏡轉盤： ›5X、10X、20X高反差平場消色差EPI物鏡 ›2.5X-100X平場消色差EPI物鏡 ›1.25X-100X平場半復消色差物鏡 ›0.7X宏觀50X、100X、150X平場復消色差物鏡 | |
| LED照明 | 適用于所有相襯觀察方法的LED ›在所有亮度等級下實現真彩色成像 ›自由調節 ›無需更換燈泡 – 無停機時間 ›可復制的結果 | |
| 載物臺 | 有種類豐富的載物臺插件供選擇，適合多種類型和尺寸的試樣檢驗： ›載物臺尺寸：150x150mm ›載物臺插件：金屬插件、晶片支座或掩模支座 ›快速的粗略或精準載物臺定位 | |
| 附件 | 選配放大倍率調節器（1X、1.5X、2X） | |
| 選配測量載物臺，適用于X、Y和Z向測量 | ||
| 透射光 | 借助帶光纖的外部冷光源照明 | |
| 電源 | 穩定的通用電源單元，90-230V | |
暫無信息 |
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