新技術(shù),帶來了新發(fā)現(xiàn)
高數(shù)值孔徑—低像差物鏡
通過比當(dāng)前的數(shù)碼顯微鏡數(shù)值孔徑更高、像差更小的物鏡、改進后更均勻的照明光源,DSX510系列光學(xué)數(shù)碼顯微鏡的成像分辨率可與的光學(xué)顯微鏡媲美。DSX510的物鏡工作距離長,可觀察高度極不平坦的樣品。
IC芯片(物鏡NA 0.4) | IC芯片(物鏡NA 0.8) |
貝氏體鋼(物鏡NA 0.4) | 貝氏體鋼(物鏡NA 0.8) |
變焦光學(xué)系統(tǒng)可涵蓋大范圍的放大倍率
變焦光學(xué)系統(tǒng): 一個物鏡涵蓋低倍到高倍
放大倍率的改變——DSX510的變焦光學(xué)系統(tǒng)可提供高達13X的光學(xué)變焦和30X的數(shù)碼變焦。單個物鏡即可涵蓋傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的放大范圍。
樣品的變焦放大
各種各樣的觀察方法,可自由使用
快速簡便地獲取觀察需要的圖像
工業(yè)顯微鏡觀察方法的理想之選,DSX510可提供各種各樣的觀察方法,呈現(xiàn)給用戶對的光學(xué)系統(tǒng)所期望的高分辨率圖像。
BF 明場觀察—— 普遍的顯微鏡觀察方法 | DF 暗場觀察—— 鑒別缺陷的方法。 從樣品側(cè)面照明以突出瑕疵。 | MIX (BF + DF) 明場+暗場組合觀察—— 同時使用明場和暗場,將明場 觀察的簡便性和暗場觀察對缺 陷的突出效果結(jié)合在一起。 | DIC 微分干涉觀察—— 檢查不平坦表面或 納米級缺陷的理想之選。 | PO 偏振光觀察—— 消除基板眩光的重要技術(shù), 以精確地呈現(xiàn)樣品的表面特征。 |
僅需點擊一下鼠標(biāo)便可選擇觀察方法
僅需點擊一下鼠標(biāo)便可選擇幾乎所有的顯微觀察方法,DSX510 使選擇正確的觀察方法變得簡單。無需復(fù)雜的調(diào)整——僅需簡單的在觀察方法(明場、暗場、MIX [明場 + 暗場]、微分干涉、偏振光)之間選擇,便可呈現(xiàn)滿足精確觀測所需的高品質(zhì)圖像。
的圖像處理
高動態(tài)范圍HDR成像:
超越人眼觀察效果的高品質(zhì)視覺呈現(xiàn)
樣品的成像效果依據(jù)材料的性質(zhì)、表面狀況或照明方法會有所不同。DSX510的數(shù)碼圖像技術(shù)產(chǎn)生的多種觀察方法,呈現(xiàn)出超越人眼觀察效果的高品質(zhì)圖像。高動態(tài)范圍成像功能(HDR)將不同曝光度下獲取的合成影像與微分干涉(DIC)觀察法下獲得的樣品表面精細(xì)的高度差影像結(jié)合起來,可呈現(xiàn)更加精確的樣品表面狀況。HDR的高保真度影像,不僅可以顯示出紋理,還可顯示出之前發(fā)現(xiàn)不了的裂紋和缺陷,同時減少了眩光,觀察更舒適。
液晶平板上的ACF各向異性導(dǎo)電膠 (標(biāo)準(zhǔn)觀察法) |
(HDR) |
任何人均可在條件下進行觀察
優(yōu)化圖像功能確保了任何操作者都可獲得的操作結(jié)果
只需簡單的選擇一幅的圖像即可完成操作——DSX510將會自動設(shè)置必要的參數(shù)來獲取圖像。無論是缺陷、凹凸的表面還是異物,圖像優(yōu)化功能都確保能獲得的影像。通過圖像優(yōu)化功能,任何人均可操作該系統(tǒng)——無論是新手,還是專家——并且還可為每位操作者進行用戶化定制。
DSX510/510i 規(guī)格
DSX510 | DSX510i | |||
主機 | 變焦比 | 13.5(光學(xué)變焦0.26X~3.5X),30(包含數(shù)碼變焦) | ||
物鏡安裝孔 | 兩孔 | |||
可安裝物鏡 | DSX專用物鏡 | XLMPLFLN10X, XLMPLFLN40X | ||
UIS2物鏡 | MPLFLN1.25X, MPLFLN2.5X, MPLFLN5XBDP, MPLFLN10XBDP, MPLFLN20XBDP, MPLFLN50XBDP, LMPLFLN10 XBD, LMPLFLN20X, LMPLFLN50X, MPLAPON50X | |||
準(zhǔn)確度和重復(fù)性 (X-Y平面) | 放大倍率準(zhǔn)確度 | ±3%*2 | ||
放大倍率重復(fù)性 | 3 n-1= ±2% | |||
重復(fù)性(Z軸) | 重復(fù)性(高度) | n-1≤1μm | - | |
照明 | 標(biāo)配(內(nèi)置) | 反射光明場LED照明/反射光暗場LED照明 | ||
選配 | 高強度LED照明*1/透射光LED照明 | 高強度LED照明*1 | ||
照相機 | 影像傳感器 | 1/1.8 英寸,201萬像素,彩色CCD(總像素:210萬像素) 總像素 : 1688 (H) x 1248 (V) 有效像素 : 1628 (H) x 1236 (V) 實際像素 : 1600 (H) x 1200 (V) | ||
冷卻方式 | 帕耳貼冷卻 | |||
掃描方式 | 逐行掃描 | |||
幀速率 | 15 fps/27 fps(binning模式) | |||
分辨率 | 標(biāo)準(zhǔn) : 1194 x 1194 (1:1)/1592 x 1194 (4:3) 精細(xì) : 1194 x 1194 (1:1)/1592 x 1194 (4:3) 超精細(xì) : 3594 x 3594 (1:1)/4792 x 3594 (4:3) | |||
靈敏度 | ISO 100/200/400/800/1600 | |||
聚焦裝置 | 行程 | 95mm | 35mm | |
分辨率 | 0.01μm | |||
樣品高度 | DSX專用物鏡 | 65mm | - | |
UIS2物鏡 | 95mm | - | ||
載物臺 | 電動載物臺 | 型號 | DSX-UFSSU | DSX-IFSSU |
行程 | 100 x 100 mm | 50 x 25 mm* 3 | ||
承重 | 3 kg | 1 kg | ||
手動載物臺 | 型號 | U-SIC4R2 | DSX-SFR | |
行程 | 100 x 105 mm | 50 x 25 mm*3 | ||
承重 | 1 kg | 1 kg | ||
液晶顯示器 | 尺寸 | 23"帶觸摸屏的全高清彩色液晶顯示器 | ||
分辨率 | 1920 (H) x 1080 (V) | |||
重量(主機,電動載物臺,液晶顯示器,控制箱,控制器) | 約38.6 kg | 約44.1 kg | ||
額定輸入電源 | 100-120 V/220-240 V, 300 V A, 50/60 Hz |
*1不能和內(nèi)置的標(biāo)配LED一起使用。*2需要Olympus或代理商的專業(yè)人員進行校準(zhǔn) 。*3 當(dāng)安裝 MPLFLN50XBDP或MPLAPON50X物鏡時,行程為25 x 25 mm。
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