超聲波空化閥值與頻率有密切關系。頻率越高，空化閥值越高。頻率低，空化閥值越低，越容易產生空化。在低頻情況下，液體受到壓縮與稀疏作用的時間間隔更長。使氣泡能生長到更大尺寸，增強空化強度，有利于清洗作用。所以低頻超聲波清洗一般在大型部件表面或者污物與工件表面粘合度高的情況下使用。但易損傷腐蝕工件表面。所以對工件表面要求較高的零件不適合選擇較低的頻率。而且頻率低，產生的噪音也相應偏大。高頻率的超聲波穿透力較強，宜清洗清洗表面光潔度要求較高或表面復雜、盲孔較多的部件。另一方面高頻超聲波的噪音也偏小，適合于清洗一些精密零件，如一些電子零件、小型軸承加工、磁性材料等。而對于一些特殊工件如集成電路芯片、硅片鍍膜的清清則選則更高頻率的超聲波來進行清洗為宜。而對于一些大的工件如汽車發動機、閥門等大型工件應選擇低頻的超聲波進行清洗。另一方面超聲波清洗效果及經濟性來考慮，一般選取頻率在20~130KHz。具體選擇頻率應做相應的實驗來確定。