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北京杜克泰克科技有限公司
GASERA ONE CF4分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強光聲光譜探測技術,結合量子級聯激光(QCL)光源,工作于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結合提供了足夠的靈敏度可以無時延的探測最微小濃度的CF4噴濺或者溢出,同時保證了超高水平的穩定性。重新校準的周期長達幾個月甚至幾年,大大減低了總體持有成本。
氣態分子污染物監測
DKG-ONE CF4
技術應用
GASERA ONE CF4分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強光聲光譜探測技術,結合量子級聯激光(QCL)光源,工作于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結合提供了足夠的靈敏度可以無時延的探測最微小濃度的CF4噴濺或者溢出,同時保證了超高水平的穩定性。重新校準的周期長達幾個月甚至幾年,大大減低了總體持有成本。
可靠的監測
高靈敏度的DKG- ONE CF4可以在生產環境中快速的探測污染物。另外,直接吸收式的檢測因其零背景的性質,可保證長期高穩定性。DKG- ONE CF4可與其他檢測儀器,如顆粒物監測儀等,整合在一個機柜里。
測量參數
l響應時間:取決于用戶可定義通道積分時間CIT以及氣體沖洗設定。根據平均時間和采樣設定從大約10秒到幾分鐘不等
l 監測下限:小于0.1ppb
l動態量程:大于5個數量級(檢測下限的100,000倍)
l重復性:運行條件下,校準濃度重復性小于1%
l準確度:校準濃度高于5%,受限于校準氣體準確度
l溫度穩定性:在運行溫度范圍內的環境溫度變化不會導致漂移
l 壓力穩定性:壓力范圍內的樣品壓力變化不會導致漂移
優勢
l 準確、可靠和低維護成本的潔凈室污染控制
l 快速的響應時間,以捕捉濃度突然上升
l 獨立運行系統,內置氣體交換泵
l 無耗材或者化學試劑
l 短光程,單點校準也可達到的動態量程
l 直接吸收測量,無漂移
l 校準間隔長(可達數年)
l 高選擇性,不受乙醛和其他VOC的干擾
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