任何超聲清洗系統都必須具備三個基本元件：盛放清洗液的槽、將電能轉化為機械能的換能器以及產生高頻電信號的超聲波發生器。
1、頻率：≥20KHz ，可以分為低頻，中頻，高頻3段。
2、清洗介質：采用超聲波清洗，一般兩類清洗劑：化學溶劑、水基清洗劑等。清洗介質的化學作用，可以加速超聲波清洗效果，超聲波清洗是物理作用，兩種作用相結合，以對物件進行充分、*的清洗。
3、功率密度：功率密度=發射功率(W)/發射面積(cm2)通常≥0.3W/cm2，超聲波的功率密度越高，空化效果越強，速度越快，清洗效果越好。但對于精密的、表面光潔度甚高的物件，采用長時間的高功率密度清洗會對物件表面產生“空化”腐蝕。
4、超聲波頻率：超聲波頻率越低，在液體中產生的空化越容易，產生的力度大，作用也越強，適用于工件(粗、臟)初洗。頻率高則超聲波方向性強，適用于精細的物件清洗。
5、清洗溫度：一般來說，超聲波在30℃-40℃時的空化。清洗劑則溫度越高，作用越顯著。通常實際應用超聲波時，采用50℃-70℃的工作溫度。
