真空清洗機也叫真空脫氣超聲波清洗機，其具體工藝為：清洗時首先在常壓下把被清洗的物體投入到清洗液中，待清洗液滲透到工件的細孔或深孔中，然后進行真空脫氣處理，在減壓抽真空過程中，促使清洗液中溶解的微小氣泡隨著氣壓的降低，在細孔中膨脹，進而把污垢一同帶出，然后在真空狀態下，啟動超聲波發生裝置，利用超聲波在脫氣后的清洗液中良好的清洗能力剝除污垢。
然后開動循環泵使清洗液在真空狀態下，發生循環流動并通過過濾器把污垢吸附清除。為提高清洗效果還可以反復進行減壓脫氣和恢復到常壓狀態的循環操作，以提高超聲波的傳送效率和增強對污垢的剝離效果。
在超聲波清洗的媒介中（水或者溶劑）都會溶解一定量的空氣，研究發現這些溶解的氣體在超聲波清洗中起著負面作用，主要表現有以下三個方面。
1、不利于空穴作用的發揮
在超聲波清洗時實際會產生兩種空穴。一種是溶解在清洗液中的氣體氣化形成的的氣泡性空穴；一種是清洗液溶劑蒸發的蒸汽形成的真性空穴。
由于氣泡性空穴的體積小，其破裂時產生的沖擊波也比較弱。而蒸汽產生的真性空穴在破裂時產生的沖擊波要強10倍以上。在清洗介質中溶解有很多氣體時，產生的空穴主要是氣泡空穴。只有在脫氣排除這些氣體后才有利于產生真性空穴。并利用真性空穴強大的沖擊波粉碎和剝離附著在工件上的頑固污垢。
2、不利于超聲波振動加速度作用的發揮
使用高頻超聲波清洗，是清洗超精密工件的重要手段，其原理是利用超聲波使清洗液的振動加速度大大提高來達到清洗目的的。
當巨大的振動加速度施加到工件上時，其表面上的污垢粒子即易于被剝離。由于高頻超聲波對工件的損傷小，所以常用于半導體和液晶顯示器基板等精密復雜工件的清洗。但如果清洗液中溶解有很多氣體時，超聲波在清洗液中的傳播速度就會發生衰減，不能發揮其*的清洗作用。因此在使用高頻超聲波清洗時也要進行真空脫氣處理。
3、溶解氣體會造成清洗工件的氧化
溶解的氣體中含有相當數量的氧氣，它會造成在超聲波清洗過程中金屬工件的氧化或生銹。
通過真空脫氣處理可以使清洗液中的殘氧量大大降低，不僅可以減少清洗和干燥處理的時間而且可以有效的解決防銹的問題。
采用真空發生器等真空脫氣裝置可將各類清洗劑中的殘存溶氧量降到2mg/L以下，經過真空脫氣處理后的清洗劑用于超聲波清洗的效率大大提高，特別是對形狀復雜、孔隙細小的精密零件清洗效果尤為明顯。
其中包括兩種作用：
一是利用脫氣過程中，氣泡在細孔中膨脹時脫出把污垢帶出的作用；另一種作用是利用上面介紹的脫氣后的清洗液具有的良好的清洗能力。
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