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蘇州碧天凈化設備有限公司
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1、主題內容與通用范圍 本標準給出了電力半導體器件工藝用高純水（以下稱高純水）的級別、技術要求、測試方法和規則
1 、主題內容與通用范圍
本標準給出了電力半導體器件工藝用高純水（以下稱高純水）的級別、技術要求、測試方法和規則。
本標準適用于去離子處理后的高純水。
2 、引用標準：GB11446電子級水及其檢測方法。
3 、術語
3.1 電導率 Electrical conductivity
在規定溫度下，1cm3水溶液兩相對面之間測得的電阻值的倒數。電導率通常以μS/cm為單位。
純水的理論電導率為0.05482 μs/cm (25℃時)。
3.2 電阻率 Resistivity，電導率之倒數。
純水的理論電阻率為18.248 MΩ.cm (25℃時)。溫度升高時電阻率下降。
3.3 總溶解性固體 Total dissolved solids（TDS）
水中溶解物質的總含量，包括鈣鎂離子、膠體、懸浮顆粒物、蛋白質、病毒、細菌、微生物及尸體。TDS通常以mg/L或ppm為單位。
3.4 總硬度（DH值）
水總硬度是指水中Ca2+、Mg2+的總量。
硬度一般以德國標示法為準，計為DH。即以每升水含氧化鈣10mg為1DH。小于8DH為軟水、大于17DH為硬水。
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