TIME®3220T測量平臺

ETA620測量平臺

絲桿升降，平臺上設(shè)置V型槽，用來測量形狀較小的工件，可提高測量精度。

花崗巖平臺工作面精度：00級(平面公差值3μm ）

花崗巖平臺大小尺寸：400mm×250mm×70mm

垂直升降高度：300±1mm

升降回程誤差：≤手輪旋轉(zhuǎn)1/6圈

ETA650測量平臺

垂直方向上的升降高度：300±1mm(微調(diào)由儀器上的可調(diào)支架完成)

垂直方向上的旋轉(zhuǎn)角度：±45

回程誤差：不大于手輪的1/6圈

平臺的平面度：00級

花崗巖平臺尺寸：600mm×420mm×80 mm

總高度：695mm

TA631微調(diào)平臺

X—Y平面轉(zhuǎn)角。

調(diào)整范圍：X向±12.5mm Y向±12.5mm

旋轉(zhuǎn)角度：粗調(diào) 360　　 微調(diào)±5