產品詳細介紹：
GZK-PID-VRD24是一款低真空恒壓控制系統，內部含一抽速可達6.6L/s的雙級旋片機械泵VRD-24，通過PID控制真空泵的轉速來控制抽氣速率，進而獲得對腔室內壓力的精密測量和恒壓控制，可與我公司的管式爐、鍍膜儀等設備結合，實現PVD、CVD以及PECVD等工藝的壓力恒定的精確控制。廣泛應用于擴散、氧化、外延、CVD、等離子濺射以及鍍膜工藝、光纖熔煉、混氣配氣系統及其它分析儀器中。
技術參數：
產品特點 | ? 含一雙旋片機械泵VRD-24，抽速可達6.6L/s ? PLC觸摸屏控制，觸摸屏顯示真空度及各項工作狀態，一鍵式操作，方便快捷 ? 通過變頻器來PID調節真空泵的電機轉速從而控制抽氣速率，使抽氣速率與進氣量、漏氣率相匹配，從而達到精確的恒壓控制 |
輸入電源 | ? 208-240VAC, 單相, 50/60Hz ? 功率為1000W |
真空測量單元 | ? 型號：PGC-554-LD ? 測量范圍：3.8E-5 to 1125 Torr ? 精度： 3.7×10-4 … 7.5×10-4 torr (N2) % of reading ±50 7.5×10-4 … 75 torr (N2) % of reading ±15 75 … 713 torr(N2) % of reading ±5 713 … 788 torr(N2) % of reading ±2.5 |
真空泵系統 | ? 機械泵型號：VRD-24 ? 抽速：6.6L/S ? 進氣口：KF25 ? 工作環境溫度：5-40℃ ? 噪音：≦58 dB ? 極限真空度：3*10-4 torr（不帶負載） |
| ? 壓力恒定控制范圍(進氣氣氛為氬氣)： 760mtorr（100Pa）-----225torr（30000Pa）（按照進氣量為500sccm） 600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照進氣量為300sccm） 300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照進氣量為100sccm） 180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照進氣量為50sccm） ? 壓力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10） ＞2.5torr-----10torr（±%40） ＞10 torr------200torr（±%5） |
外型尺寸 | ? 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H) |
產品重量 | ? ~40kg |
質保期 | ? 一年質保期，終身維護 |
應用 | ? 此系統配套上相應的不銹鋼密封法蘭系統可以和本公司的真空管式爐和CVD、PECVD系統相連接，實現氣氛的恒壓控制。 ? 此系統與本公司磁控濺射儀等鍍膜設備匹配使用，可實現反應磁控濺射的氣氛恒壓控制。
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