產品詳細介紹：
GZK-PID-103G是一款高真空恒壓控制系統，內部含一高真空國產分子泵機組(機械泵VRD-24以及分子泵FF100/110)，兩種工作狀態可進行切換：
分子泵工作模式：可啟動分子泵機組，從而實現體系的高真空狀態;
恒壓工作模式：待分子泵停止工作后，通過PID控制機械真空泵的轉速來控制抽氣速率，進而獲得對腔室內壓力的精密測量和恒壓控制，可與我公司的管式爐、鍍膜儀等設備結合，實現PVD、CVD、PECVD以及HPCVD等工藝中壓力恒定的精確控制;
本系統廣泛應用于擴散、氧化、外延、CVD、等離子濺射以及鍍膜工藝、光纖熔煉、混氣配氣系統及其它分析儀器中。
技術參數：
產品特點 | ? 含一高真空分子泵機組：機械泵VRD-24（抽速6.6L/s）以及分子泵FF100/110（抽速110L/S） ? 兩種工作狀態可進行切換：分子泵工作模式以及恒壓工作模式 ? PLC觸摸屏控制，觸摸屏顯示真空度及各項工作狀態，一鍵式操作，方便快捷 ? 恒壓工作模式下：可通過變頻器來PID調節真空泵的電機轉速從而控制抽氣速率，使抽氣速率與進氣量、漏氣率相匹配，從而達到精確的恒壓控制 |
輸入電源 | ? 208-240VAC, 單相, 50/60Hz ? 功率為1200W |
真空測量單元 | ? 型號：PGC-554-LD ? 測量范圍：3.8E-5 to 1125 Torr ? 精度： 3.7×10-4 … 7.5×10-4 torr (N2) % of reading ±50 7.5×10-4 … 75 torr (N2) % of reading ±15 75 … 713 torr(N2) % of reading ±5 713 … 788 torr(N2) % of reading ±2.5 |
真空泵系統 | ? 機械泵型號：VRD-24 抽速：6.6L/S 工作環境溫度：5-40℃ 噪音：≦58 dB ? 分子泵型號：FF100/110 抽速：110L/S 極限壓強：≦4.5*10-7 torr（不帶負載） 啟動壓強：< 0.75 torr 額定轉速：42300 rpm ? 與腔室連接接口尺寸：KF40
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壓力恒定控制系統 | ? 壓力恒定控制范圍(進氣氣氛為氬氣)： 760mtorr（100Pa）-----225torr（30000Pa）（按照進氣量為500sccm） 600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照進氣量為300sccm） 300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照進氣量為100sccm） 180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照進氣量為50sccm）
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外型尺寸 | ? 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H) |
產品重量 | ? ~80kg |
質保期 | ? 一年質保期，終身維護 |
應用 | ? 此系統配套上相應的不銹鋼密封法蘭系統可以和本公司的真空管式爐、CVD、PECVD和HPCVD系統相連接，實現氣氛的恒壓控制。 ? 此系統與本公司磁控濺射儀等鍍膜設備匹配使用，可實現反應磁控濺射的氣氛恒壓控制。 |
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