日本雅馬拓等離子灰化機、高頻輸出 50~500W 反應腔 Φ215×305mm
等離子灰化機、低溫等離子·經(jīng)典桶型。
PR500：手動控制
PR510：自動觸摸屏控制
低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。
等離子灰化機、用途
●去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓，玻璃基板對應
等離子灰化機、特征
● 大口徑（Φ215mm）石英反應腔
● 小型一體化設計
● 操作簡單的觸摸屏方式（PR510型）
等離子灰化機、內(nèi)槽
硅晶圓灰化狀態(tài)
等離子灰化機、規(guī)格
| 型號 | PR500 | PR510 | |
| 模式 | DP模式，桶型 | ||
| 控 制 部 | 高頻輸出功率 | Max500W | |
| 頻率 | 13.56MHz | ||
| 同調(diào)方式 | 自動協(xié)調(diào) | ||
| 反 應 部 | 反應腔 | 石英 Φ215×305mm | |
| 反應氣體 | 2系統(tǒng)（O 2 ／CF 4 ） | ||
| 控制 | 手動 | 觸摸屏自動控制 | |
| 配管材質(zhì) | 不銹鋼、特氟龍 | ||
| 外形尺寸 | W438×D520×H760mm | 參照規(guī)格書 | |
| 重量 | 約60kg | 參照規(guī)格書 | |
| 電源 | 單相AC100V 9A | 三相AC200V 8A | |
環(huán)保在線