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CW400LMDT-8″大平臺明暗場芯片檢查顯微鏡

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產(chǎn)品型號CW400LMDT-8″

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更新時間:2022-07-12 14:52:11瀏覽次數(shù):78次

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儀器用途:CW400LMDT-8大平臺明暗場芯片檢查顯微鏡是適用于半導(dǎo)體晶圓的檢驗(yàn)、芯片封裝、電路基板、材料等行業(yè)的理想儀器
儀器用途:
CW400LMDT-8大平臺明暗場芯片檢查顯微鏡是適用于半導(dǎo)體晶圓的檢驗(yàn)、芯片封裝、電路基板、材料等行業(yè)的理想儀器。可進(jìn)行偏光、暗視場及明視場觀察轉(zhuǎn)換。暗視場功能對觀察材料表面缺陷有特殊效果。配置大視野目鏡和長距平場消色差物鏡(無蓋玻片),視場大而清晰。專門設(shè)計的大移動范圍載物臺,移動范圍:8"×8"(204mm×204mm),滿足半導(dǎo)體行業(yè)的需求。粗微動同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),粗動松緊可調(diào),帶限位鎖緊裝置,微動格值:0.7μm。三目鏡筒,可進(jìn)行99%透光攝影。
主要技術(shù)參數(shù):
1、目鏡筒:三目鏡,轉(zhuǎn)軸式,傾斜30度、360°旋轉(zhuǎn)
2、目鏡:大視野 WF10X/22mm
3、無窮遠(yuǎn)平場消色差明暗場專用物鏡:
PL L 5X/0.12 B.D 工作距離(Work distance)9.7 mm
PL L10X/0.25 B.D 工作距離(Work distance):9.3 mm
PL L20X/0.40 B.D 工作距離(Work distance):7.2 mm
PL L50X/0.70 B.D 工作距離(Work distance):2.5 mm
PL L80X/0.80 B.D 工作距離(Work distance):1.25 mm
轉(zhuǎn)換器:內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位五孔轉(zhuǎn)換器
4、總放大倍數(shù):50X-800X
5、聚焦鏡:可調(diào)式阿貝聚焦鏡NA1.25,孔徑光闌,濾色片。
6、大工作臺:三層機(jī)械移動式,尺寸:280mmX270mm,移動范圍(X*Y):204mmX204mm
7、調(diào) 焦 :粗微動同軸調(diào)焦,升級范圍25mm,微動格值:0.7μm,帶鎖緊和限位裝置
8、落射照明系統(tǒng):柯勒照明,落射照明12V50W,鹵素?zé)袅炼瓤烧{(diào),內(nèi)置式視場光闌、孔徑光闌(黃、藍(lán)、綠、磨砂玻璃)濾色片轉(zhuǎn)換裝置,推拉式檢偏器與起偏器。
9、正交偏光裝置
10、防霉

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