型號(hào)：OTF-1200X-PESDFG-50
產(chǎn)品概述：OTF-1200X-PESDFG-50是一款雙爐體滑動(dòng)的PECVD系統(tǒng)，連接循環(huán)手套箱。此款設(shè)備中石英爐管與循環(huán)手套箱連接，可利用CVD方法，將樣品處理后直接移入到氣氛保護(hù)環(huán)境下的手套箱中。爐體采用滑動(dòng)式，可在實(shí)驗(yàn)室中對(duì)樣品進(jìn)行快速加熱和快速冷卻。此款儀器特別適合新一代納米材料和二維晶體材料的探索研究。
| 設(shè)備名稱 | 雙爐體滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)＆循環(huán)手套箱—OTF-1200X-PESDFG-50 （2019.12.18—科晶實(shí)驗(yàn)室審核） | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | ? 真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統(tǒng)的石英管連接； ? 兩個(gè)爐體在一個(gè)滑軌上，可通過爐體的滑動(dòng)達(dá)到對(duì)樣品快速加熱和快速冷卻的效果。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 加熱爐參數(shù) | ? 連續(xù)工作溫度：1100℃ ? 兩個(gè)爐體都可設(shè)置30段升降溫程序 ? 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命） ? 電源：AC220，50Hz 功率：3KW | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 手套箱參數(shù) | ? 帶有除水系統(tǒng)：保持水含量< 2 ppm ? 真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統(tǒng)的石英管連接 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 射頻電源 | ? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。
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| 真空系統(tǒng) | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵； ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； ? 真空度可達(dá)10-2Torr。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 供氣系統(tǒng) | ? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）； ? 流量范圍:
? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz； ? 氣體進(jìn)出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管； ? 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出； ? PLC觸摸屏可以簡便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品尺寸 | ? 爐體尺寸：1600mm(L) ′430mm (W) ′ 500mm(H) ? 手套箱尺寸：780mm(L)′ 700mm(W) ′ 650mm(H) | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 認(rèn)證 | ? CE認(rèn)證 ? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認(rèn)證 ? 如您另外付費(fèi)，我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 承諾 | ? 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件） |
環(huán)保在線