產(chǎn)品概述:這款小型PECVD,其腔體為 3" dia x 16" L的石英腔體,而且加熱圈在石英腔體內(nèi)部對樣品進行加熱,此系統(tǒng)配有2通道混氣系統(tǒng)和雙旋機械泵。整套儀器都按放在一個移動架上,以便于實驗操作。等離子腔體內(nèi)部的溫度可以達到400℃,采用程序化控溫。此款小型廉價的PECVD系統(tǒng)對于薄膜生長和納米線的制作是一款很好的選擇。
等離子源 | · 等離子體射頻電源:110V 或220VAC, 50/60 Hz, < 100W · 輸出頻率: 13.56 MHz · 三檔射頻功率大小: 7.2W. 10.5W 和 18W (可調(diào)節(jié)) · 腔體尺寸:3"OD x 2.7"ID x 16" L 儀器中帶有一套不銹鋼密封法蘭使得腔體內(nèi)部的真空度為10^-2 torr(用機械泵) |
視頻 | 操作視頻 |
滑動法蘭 | · 有一滑軌法蘭安裝于移動架上,以便于樣品的放入和取出。 樣品可以放入加熱線圈內(nèi),以達到更好的加熱效率和溫度的均勻性。 |
加熱圈和溫控系統(tǒng) | · 加熱圈尺寸:50mm OD x 40mm ID x 70mm,可使樣品達到的溫度為400℃ · 加熱圈上套有一2" ID x 75mm L的石英罩,以減小熱量損失 · 溫控方面:采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,同時可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為: +/-1oC 輸入電源: AC 220V |
兩通道混氣系統(tǒng) | · 混氣箱上安裝有兩個浮子流量計,其量程為10-100SCCM · 三個機械壓力表:-0.1-0.15 MPa, · 混氣箱上安裝有304不銹鋼針閥 · 配有三根1/4"的聚四氟乙烯管 · 混氣箱尺寸: 340Lx300Dx 180H, mm ( 13.4"x12"x7"). 凈重: 14 lbs. |
真空和氣體接口 | 標準的真空配置有 · 一套3"的不銹鋼法蘭(上面安裝有KF-25的真空泵接口,一個1/4"卡套接頭和不銹鋼針閥) · 一根KF25的波紋管(長度為1m)和三KF25卡箍 · 一個數(shù)字式真空顯示計 · 等離子腔體中可以通入多種惰性性氣體,如N2, Ar, Air ,以及各種混合性氣體。 · 可以調(diào)整腔體內(nèi)的壓力或是進氣流量,確保等離子體達到樣品處 (注意:不可通入易燃易爆性氣體) |
真空泵 | · 儀器中配有一雙旋機械真空泵,其抽氣速率為120L/min, 進氣口為KF25接口,可以使腔體內(nèi)真空度小于30mTorr |
移動架 | 設(shè)備中配有一 600L x 600W x 600H(mm)的移動架,整個CVD系統(tǒng)可以安置于其上面 |
儀器尺寸 | · 等離子源: 8.5" H x 10" W x 8" D · 溫控盒: 4"H x 10"W x 8"D 移動架:600 x 600 x 600mm |
重量 | 70 lb (包含真空泵) |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期(不包含石英管和密封圈) |
質(zhì)量認證 | CE 認證 |