型號:SKJ-LCZ
產品概述:SKJ-LCZ是一款特殊的提拉法(CZ)晶體生長爐(采用懸浮熔煉對金屬樣品熔化,溫度可達2000℃)。此系統采用組成:高頻感應加熱電源,高真空腔體,水冷銅坩堝(懸浮熔煉)和精密提拉機構。懸浮熔煉避免了坩堝的污染,可得到高純度的金屬(合金)單晶。
視頻 | 安裝操作視頻 |
設備結構 | ·40KW感應加熱電源,用于懸浮熔煉 ·特殊設計水冷銅坩堝,可熔煉60g樣品
·高真空腔體,真空度可達10-6torr(采用分子泵系統)
·精密可旋轉(籽晶桿可旋轉)提拉機構,提拉速度為0.1mm/h-24mm/h |
感應加熱電源 | ·功率:40KW
·頻率 :80-200KHz
·電流:10-100A
·電壓: 380V +/-10% , 三相, 50/60Hz
·水冷卻:水壓 ≧0.2MPa 水流量: ≧10L/min |
水冷銅坩堝 | ·坩堝尺寸: Φ35mm* 60mm
·熔煉量: 60g
·需冷卻水流量: 58L/min |
提拉機構 | ·提拉速度: 0.1-24mm/h
·籽晶桿轉速: 0.03-50r/min
·提拉行程: 250 mm
·可快速手動提拉
·提拉桿內部有水冷卻 |
真空腔體&真空泵 | ·采用SS304不銹鋼腔體,帶有水冷夾層
·腔體尺寸: Φ400x 40 D mm
·石英窗口: Φ300mm
·真空度: 10-6 Torr (采用分子泵系統)
·真空泵: 分子泵體統,抽氣速率700L/S |
循環水冷機 | ·設備所需冷卻水流量≧110L/min
·可在本公司選購循環水冷機 |
質量認證 | ·CE認證 |