超低溫極低振動超高真空系統
2017-09-06
典型定制型低溫恒溫器超低溫極低振動超高真空系統
該系統為國家自然科學基金重大科學儀器研制項目“高分辨原位實時摩擦能量耗散測量系統"的重要組成部分，已成功交付運行。該系統集成了鵬力超低溫公司的GM低溫制冷機、GM低溫制冷機為冷源的超低振動低溫恒溫器、液氦/液氮為冷源的低溫恒溫器、GM低溫制冷機為冷源的氦回收純化液化系統、超高真空直線傳樣系統及超高真空圓形傳樣系統等設備，并具備較高的性能指標，如溫度低于3K，振動低于±5nm，真空度優于1×10-10mbar。
| 技術參數 | 溫度范圍 | ＜3K |
| 振動指標 | ＜±5nm | |
| 真空度 | 優于1×10-10mbar |
| 綜合腔性能指標 | 樣品工作溫度 | ＜3K |
| 樣品工作溫度范圍 | 3K~室溫連續可調 | |
| 樣品垂直方向振幅 | ≤±10nm | |
| 樣品水平方向振幅 | ≤±5nm | |
| 綜合腔真空度 | 優于5×10-7mbar |
| 真空傳樣性能指標 | |
| 超高真空部分真空度 | 極限真空值優于1x10-10 mbar |
| 高真空部分真空度 | 極限真空值優于1x10-8 mbar |
環保在線