低溫捕集泵按照真空度來分就分為粗真空度，高真空度以及超高真空度；按照工作原理來分就分為氣體輸送泵以及氣體捕集泵，氣體輸送泵又分為變容真空泵、動量輸送泵，氣體捕集泵分為吸附泵，吸氣劑泵以及低溫泵。真空泵由于其工作性質，需要用到真空泵過濾器，不同類型的泵需求也有所不同，對于油封式真空泵，安裝真空泵過濾器大多為解決其噴油冒煙和環(huán)保問題。
在低溫泵內設有由液氦或制冷機冷卻到極低溫度的冷板。它使氣體凝結，并保持凝結物的蒸汽壓力低于泵的極限壓力，從而達到抽氣作用。低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。
①低溫冷凝：氣體分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的氣體層上，其平衡壓力基本上等于冷凝物的蒸氣壓。抽空氣時，冷板溫度必須低于 25K；抽氫時，冷板溫度更低。低溫冷凝抽氣冷凝層厚度可達10毫米左右。
②低溫吸附：氣體分子以一個單分子層厚 (厘米數(shù)量級)被吸附到涂在冷板上的吸附劑表面上。吸附的平衡壓力比相同溫度下的蒸氣壓力低得多。如在 20K時氫的蒸氣壓力等于大氣壓力，用 20K的活性炭吸氫時吸附平衡壓力則低于帕。這樣就可能在較高溫度下通過低溫吸附來進行抽氣。
③低溫捕集：在抽氣溫度下不能冷凝的氣體分子，被不斷增長的可冷凝氣體層埋葬和吸附。
一般說來，低溫捕集泵的極限壓力就是冷板溫度下的被冷凝氣體的蒸氣壓力。溫度為120K時，水的蒸氣壓已低于帕。溫度為20K時，除氦、氖和氫外，其他氣體的蒸氣壓也低于帕。但由于被抽容器和低溫冷板的溫度不同，泵的極限壓力高于冷凝物的蒸氣壓。對于室溫下的容器，低溫板為20K時，泵的極限壓力約為冷凝物蒸氣壓力的4倍。
