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超低溫冷阱配套應用于Parylene鍍膜設備

閱讀:55發布時間:2023-2-26

在Parylene真空涂敷設備上,鍍膜腔體與真空泵之間,需要低溫捕集器。如下圖。

常見的低溫捕集器有以下3種方式:

1)液氮冷阱,是經濟的低溫捕集方式,簡單可靠,易于維護,費用低。但是液氮的供應受制約因素較多,另外在冷頭里灌注液氮,不太方便。

2)超低溫制冷機的冷頭,替換液氮冷阱,是常見的低溫捕集方式。優點是直接替代液氮方式,用戶容易理解和接受。缺點是冷頭與制冷機之間,有不可拆卸的低溫軟管,損失部分冷量,若是低溫狀態下移動制冷機,容易損壞軟管,造成制冷劑泄漏。與真空系統裝配,占用空間較多。

3)超低溫制冷機的冷阱,替換液氮冷阱,是更合理的低溫捕集方式。將液氮冷頭和真空罐一起去掉,從鍍膜腔體的真空接口,采用真空軟管,連接到超低溫冷阱的真空接口,然后連到真空泵。超低溫冷阱與超低溫冷頭相比,更加簡單可靠,安裝和維護更方便。

液氮冷頭作為低溫捕集器,捕集溫度低,維護簡單,但使用不便,常見于實驗室里。

在工業領域,常見的是采用超低溫制冷機作為低溫捕集器,溫度范圍在-80℃~-145℃,一般分為冷頭和冷阱兩種方式。

超低溫冷頭的方式,優點是直接替代液氮冷頭,也正好利用了原設計的液氮冷頭的附加真空罐。缺點是液氮冷頭或超低溫冷頭,法蘭接口都是非標,需要定制;超低溫冷頭的黑色連接軟管,保溫層相對不足,會損失一部分冷量,低溫時也比較脆弱、嚴禁移動。

超低溫冷阱的方式,不需要附加的真空罐,整機機構簡單。從鍍膜腔室,直接連接冷阱即可。不會有冷量的損失、堅固耐用;接口采用真空標準形式KF40或KF50,非常方便可靠,也是真空系統的常規設計方案。

下圖左邊是冷頭的方式,黑色的低溫連接管,低溫時比較脆弱,有冷量損失。

下圖右邊是冷阱的方式,真空連接比較簡單可靠,鍍膜腔室à冷阱à真空泵。

下邊的大圖,是選用臺式冷阱的設計示意圖(已批量應用)。

圖片1.jpg

在超低溫領域,長流儀器(Coolium instruments)是一家的研發型企業,為客戶提供種類繁多的低溫產品。比如溫度為-50℃、-80℃、-110℃、-120℃、-135℃、-145℃的標準機型。同時也接受各種用戶需求的非標定制。

長流儀器VaporCold超低溫冷阱配套Parylene設備,已有超過15年的時間,配套的超低溫冷阱超過500臺,用戶分布在國內、東南亞、歐洲、北美等市場。

長流儀器服務于Parylene設備,有豐富的經驗和自信,可為用戶提供多種解決方案。下圖是長流儀器的部分機型圖片,包括超低溫冷頭、超低溫冷阱。

* 單壓縮機自復疊制冷技術,降溫快、溫度低、節能環保、性能可靠。

* 機型種類齊全,立式或臺式、冷頭或冷阱,便于用戶選擇配套。

* 冷頭或冷阱按真空標準進行設計、制造和測試,滿足真空技術要求。

* 在冷頭或冷阱的低溫表面,部分機型可選防腐蝕涂層,大大延遲使用壽命。

下邊是一些國內外的應用實例,冷阱形式各異,供大家對比和參考:



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