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北京長流科學(xué)儀器有限公司
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閱讀：53發(fā)布時(shí)間：2023-1-14
在使用油擴(kuò)散泵和分子泵抽真空的過程中，空間中殘留的氣體80%以上是水蒸氣、油蒸汽和一些高沸點(diǎn)蒸汽。這種殘余氣體在高真空狀態(tài)下難以快速提取。速度慢，殘留氣體的存在不僅會(huì)影響真空度，還會(huì)污染生產(chǎn)實(shí)驗(yàn)工件。水汽深冷捕集泵有效縮短抽真空時(shí)間，提高鍍膜品質(zhì)。
真空度在10-2和10-8pa之間。對(duì)于油氣，增加真空度，提高產(chǎn)品質(zhì)量，加快抽油速度，提高生產(chǎn)效率。在真空室或油擴(kuò)散泵的泵口放置一個(gè)可快速達(dá)到-135℃以下的低溫裝置(水汽捕集泵或超低溫冷阱)，通過其表面深低溫冷凝能力將真空室中的殘余氣體迅速吸附在其表面，從而大大縮短抽真空時(shí)間(可縮短抽真空時(shí)間60-90%)，獲得干凈的真空環(huán)境(真空度可提高半個(gè)數(shù)量級(jí)，達(dá)到10-8Torr，10-5Pa)。
1、水汽深冷捕集泵常安裝在高閥與真空室之間，或在真空室中，在纏繞涂層的上、下室中。適用于塑料低溫涂層、纏繞涂層等涂層材料放氣量大的場合。線圈需要加熱除霜裝置使線圈溫度恢復(fù)正常每次打開門之前，以防止低溫線圈從大氣中吸收大量的水蒸氣，形成霜，這將影響下一個(gè)吸塵。
2、水汽深冷捕集泵放置在油擴(kuò)散泵的泵口，高閥下方。它的主要作用是防止油回流到油擴(kuò)散泵，還可以加快抽油速度，增加真空度。由于系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，不需要除霜裝置。
長流儀器研發(fā)生產(chǎn)的VaporCold -135℃水汽深冷捕集泵，采用成熟的核心技術(shù)、可靠的設(shè)計(jì)方案、進(jìn)口品牌制冷壓縮機(jī)及制冷配件、環(huán)保混合制冷劑、自動(dòng)復(fù)疊制冷。制冷速度快、效率高、溫度低、維護(hù)方便。其設(shè)計(jì)和制造與國際技術(shù)水平同步，性能指標(biāo)達(dá)到甚至進(jìn)口機(jī)型，可實(shí)現(xiàn)對(duì)進(jìn)口機(jī)型的直接替換。
長流儀器提供完整的水汽捕集泵方案，幫助客戶提高生產(chǎn)效率、減少生產(chǎn)費(fèi)用， 改進(jìn)制程表現(xiàn)， 提高產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量。
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