A530 描述

A530 移動式氦質譜檢漏儀(Helium Mass Spectrometer Leak Detector)，是一款大抽速（前級泵抽速30 m³/h），低維護、高靈敏度、操作便捷的干泵檢漏儀。A530 氦質譜檢漏儀輕松檢漏，使您放心得到快速準確可靠的測試結果。產品廣泛應用于科研院所、航空航天、半導體、半導體氣柜，光伏等行業。

功能特點

大抽速前級泵，工作效率高

支持正壓檢漏，負壓檢漏

優化設計的質譜系統和智能算法確保在所有量程快速響應

自動跟蹤本底功能，提供快速可靠的測量結果

高可靠性的真空系統和質譜系統確保快速清氦

機器的性能支持7*24 小時長時間在線測試

雙銥絲離子源，系統設計有效的防大氣沖擊功能

配有檢漏口精細過濾器，過濾細微雜質，確保機器不受雜質影響和損傷

支持氮氣破空，不受環境氦氣干擾，快速降低本底有可便捷更換過濾器

技術參數

最小可檢漏率（負壓模式）            5×10-13Pa?m3/s 

最小可檢漏率（正壓模式）            5×10-9Pa?m3/s

檢漏口壓強           粗檢        1500Pa

                  中檢        200Pa

                  精檢        40Pa

響應時間                       ＜0.5s

啟動時間                       ≤2min

前級油泵抽速                     30m3/h（8.3L/s)  

外形尺寸（W×D×H）                780×420×1100

重量                          110Kg

常見泄漏率

檢漏方法示意圖