在較高溫度或低溫下還可能需要使用真空罐(Vacuum Chamber)。
熱吸盤(Hot Chuck)
1.采用低噪聲直流驅動
2.絕緣套件用于低電流(pA)測試
3. 配備水冷裝置，快速將加熱卡盤降至室溫
4. 大多數探針臺可安裝
5. 不需特殊連接適配器即可安裝
6. 卡盤材質為不銹鋼，以獲取均溫性，避免重金屬沾污
7. 配備溫度控制器，可選多種加溫曲線
8. 設計有冷卻隔絕裝置，保證熱吸盤溫度不會通過金屬傳導而引起探針臺整體精度下降
規格：
| 卡盤尺寸 | 3”, 4'', 6'', 8'', 12” dia. x 1'' Thick |
| 卡盤平坦度 | +/-10μm |
| 溫度范圍 | RT-200?C |
| 溫度分辨率 | 0.1?C |
| 溫度準確度 | 100?C,±0.5?C; 200?C,±1?C; 300?C,±2?C; 400?C,±3?C |
| 從25?C加熱到 4英寸卡盤所需時間(典型值) | 100?C, 150?C, 200?C 2:00 3:30 5:00 |
| 4英寸卡盤所需時間 2:00 、 3:30 、5:00 | |
| 加熱驅動方式 | 直流 |
| 材料 | 不銹鋼 |
| 電源 | 110 VAC, 60Hz 220 VAC, 50Hz |
| 加熱功率 | 4'' 700W ; 6'' 1000W ; 8'' 1500 W |
| 真空泵 | -250 mmHg, 7 liter/min |
| 水流量 | 20 升/分鐘 |
| 溫度控制器 尺寸 重量 | 350mmW x 300mmD x 150mmH 20 kg |
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