滲氦型標準漏孔原理是基于菲克定律制作。漏孔是計量器具,漏率量值溯源到國家漏率標準,均具有經國家實驗室認證的計量技術機構的校準證書。
一.漏率范圍:E-7~E-10(Pa.m3/s)23℃
二.漏孔種類:
1.參考標準漏孔E-8;E-10(Pa.m3/s)23℃
(1)系數可根據用戶需要確定
(2)年泄漏率可控制在<2%,其不確定度≤±0.2%,以保證漏率的長期可靠。
(3)有精確的溫度修正:QT=Qcal296K*(T/296K)*e-2535.5(1/T-1/296)
(4) 用于:a.量值傳遞作為標準;b.真空漏率標準之間的互校的參考體;c.監視真空漏率標準是否處在狀態
2.微漏率漏孔:
<5E-9—E-11(Pa.m3/s)23℃
3.大漏率漏孔:
≈1.5E-7(Pa.m3/s)23℃
4.高清潔度型漏孔:
不產生雜峰(因橡膠密封產生的雜質譜峰),接口為刀口法蘭。
5.某些數量級,任意系數漏孔(E-9,E-10,E-11)。
6.常規漏孔:1.5E-8(Pa.m3/s)23℃;5E-9(Pa.m3/s)23℃
三.說明:
1.常溫下使用不可加熱及制冷降溫法改變漏率以防結構損壞。
2.為保證漏率長期穩定性,漏孔內采用玻璃結構,防震損。
3.真空密封面不可劃傷,以防漏率失準。
4.漏孔使用中的溫度修正誤差允許<10%時按照3%/℃進行線性修正
5.接口:漏孔可接入任意形式接口的真空系統。