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合肥爍航科技有限公司
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干泵氦質譜檢漏儀，靈敏度高、操作便捷、低維護，使您放心得到準確可靠的測試結果
干泵氦質譜檢漏儀，靈敏度高、操作便捷、低維護，使您放心得到準確可靠的測試結果。
產品廣泛應用于科研院所、航空航天、半導體、半導體氣柜，光伏等行業。
功能描述
支持正壓檢漏，負壓檢漏
自動跟蹤本底，提供快速可靠的測量結果
優化設計的質譜系統和智能算法確保在所有量程快速響應
高可靠性的真空系統和質譜系統確保快速清氦
支持氮氣破空，不受環境氦氣干擾，快速降低本底
機器的性能支持7*24小時長時間在線測試
機器的性能支持幾秒一次的高頻率測試
配有檢漏口精細過濾器，過濾細微雜質，確保機器不受雜質影響和損傷
雙銥絲離子源，有效的系統設計，防大氣沖擊
支持定制檢漏工作臺，更加便捷使用
技術參數
最小可檢漏率（負壓模式） 5×10-13Pa·m3/s
最小可檢漏率（正壓模式） 1×10-8Pa·m3/s
檢漏口壓強 粗檢 1500Pa
中檢 200Pa
精檢 40Pa
響應時間 ＜1s
啟動時間 ≤3min
前級渦旋干泵抽速 10m3/h
外形尺寸（W×D×H） 845×465×988
重量 80Kg
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