安徽歌博科技A500型干泵氦質(zhì)譜檢漏儀，靈敏度高、操作便捷、低維護，使您放心得到準(zhǔn)確可靠的測試結(jié)果。

產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于科研院所、航空航天、半導(dǎo)體、半導(dǎo)體氣柜，光伏等行業(yè)。

功能描述

支持正壓檢漏，負(fù)壓檢漏

自動跟蹤本底，提供快速可靠的測量結(jié)果

優(yōu)化設(shè)計的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應(yīng)

高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確保快速清氦

支持氮氣破空，不受環(huán)境氦氣干擾，快速降低本底

機器的性能支持7*24小時長時間在線測試

機器的性能支持幾秒一次的高頻率測試

配有檢漏口精細(xì)過濾器，過濾細(xì)微雜質(zhì)，確保機器不受雜質(zhì)影響和損傷

雙銥絲離子源，有效的系統(tǒng)設(shè)計，防大氣沖擊

支持定制檢漏工作臺，更加便捷使用

技術(shù)參數(shù)

最小可檢漏率（負(fù)壓模式）  5×10-13Pa?m3/s 

最小可檢漏率（正壓模式）  1×10-8Pa?m3/s

檢漏口壓強               粗檢          1500Pa

                         中檢          200Pa

                         精檢          40Pa

響應(yīng)時間                               ＜0.5s

啟動時間                               ≤2min

前級渦旋干泵抽速                      10m3/h  

外形尺寸（W×D×H）               845×465×988

重量                                   73Kg

尺寸圖

常見泄漏率

檢漏方法示意圖