●平場(chǎng)凹面光柵,7塊線陣CCD檢測(cè)器,波長(zhǎng)覆蓋范圍160~440 nm,光譜儀分辨率0.02 nm。
●采用光纖可同時(shí)軸向及徑向采集光譜信號(hào)。
●通過(guò)透鏡成像系統(tǒng)可同時(shí)軸向及徑向觀測(cè)等離子體形貌的變化,實(shí)現(xiàn)對(duì)等離子體狀態(tài)的變化實(shí)時(shí)監(jiān)控。
●通過(guò)正負(fù)透鏡組對(duì)激光束進(jìn)行聚焦,改變正負(fù)透鏡之間的距離從而調(diào)節(jié)焦點(diǎn)至樣品表面之間的距離。
●通過(guò)軟件控制激光器、光譜儀及步進(jìn)電機(jī)的移動(dòng),可快速準(zhǔn)確地實(shí)現(xiàn)自動(dòng)尋峰及定量分析。