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在多晶硅生產中,原料中的硼、磷主要以三氯化硼和形式存在,影響產品質量
在多晶硅生產中,原料中的硼、磷主要以三氯化硼和形式存在,影響產品質量。在多晶硅中除硼、除磷可使用一直對硼或磷具有高選擇性的螯合樹脂,螯合樹脂上的功能基團同硼或磷形成穩(wěn)定的配位體,在合理的設計工藝條件下,可實現將液體三氯氫硅中硼或磷含量從上千ppb降低到5ppb以下,從而達到除硼、除磷的目的。多晶硅原料通過螯合樹脂除硼、除磷,可以為精餾工段提供優(yōu)質穩(wěn)定的原料,減輕精餾工段的負荷,有利于提高產量和降低產品的能源單耗。
二氯二氫硅沸點只有8.3℃,自燃穩(wěn)定58℃,為強腐蝕性有毒氣體,在空氣中發(fā)生反應產生白色煙霧,遇明火、高熱會發(fā)生燃燒或爆炸,不易現場長期儲存,因此二氯二氫硅的回收及利用不僅可以有效的消除安全隱患,而且可以一定程度降低生產成本。
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