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HRM300L半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡

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產(chǎn)品型號(hào)HRM300L

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更新時(shí)間:2024-07-31 08:20:47瀏覽次數(shù):103次

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經(jīng)營(yíng)模式:代理商

商鋪產(chǎn)品:317條

所在地區(qū):重慶重慶市

聯(lián)系人:張經(jīng)理 (經(jīng)理)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

韓國(guó)湖碧馳(Huvitz)半導(dǎo)體檢查顯微鏡200mm/300mm晶圓FPD檢查顯微鏡? 大型載物臺(tái)搭載: 可用于400×300mm液晶基板, 300mm晶圓全面檢查? 采用高NA的透射光聚光鏡, 圖像更銳利? 多種觀察方式 多種照明方式 多種附件以滿足不同應(yīng)用要求

詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體檢查顯微鏡200mm/300mm晶圓FPD檢查顯微鏡
• 大型載物臺(tái)搭載: 可用于400×300mm液晶基板, 300mm晶圓全面檢查
• 采用高NA的透射光聚光鏡, 圖像更銳利
• 多種觀察方式 多種照明方式 多種附件以滿足不同應(yīng)用要求
HRM300L透反射半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡
HRM300L-M反射光半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡

HRM300L/HRM300L-M詳細(xì)規(guī)格:

光學(xué)系統(tǒng) 無(wú)限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)
顯微鏡鏡體 照明裝置
反射/透射光∶內(nèi)置12V、100W光源,備有光量預(yù)設(shè)開(kāi)關(guān)、電壓LED指示燈、反射/透射光轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)(HRM300L)。
反射光∶內(nèi)置12V、100W光源,備有光量預(yù)設(shè)開(kāi)關(guān)、電壓LED指示燈(HRM300L-M)
調(diào)焦
行程范圍:29.5毫米粗調(diào):17.7毫米/轉(zhuǎn),微調(diào):0.1毫米/轉(zhuǎn)(1 um刻度),可設(shè)粗調(diào)上限停止位置,粗調(diào)旋鈕張力可調(diào)
標(biāo)本高度 29.5mm
反射光照明裝置 明視場(chǎng)等觀察法 100W鹵素?zé)?可安裝高亮度光源、光纖照明裝置)。可用于明視野法微分干涉襯比法/簡(jiǎn)易偏振光法,配備視場(chǎng)光闌和孔徑光闌(可調(diào)中)以及明視野法聯(lián)動(dòng)的中性密度濾色鏡。
暗視野觀察法 暗視野法
透射光照明裝置
100W鹵素?zé)簦鋫浒⒇?長(zhǎng)工作距離聚光鏡,
內(nèi)置透射光濾色鏡(LBD、ND25、ND6)(BX51)
觀察鏡筒 超過(guò)寬視野F.N.25
正象∶三目鏡筒HM-WETR:正象型(FN 25),傾斜角為20°
換鏡轉(zhuǎn)盤(pán) 明視野法用 五孔帶DIC插孔轉(zhuǎn)盤(pán)
明/暗視野法用 五孔帶DIC插孔轉(zhuǎn)盤(pán)
載物臺(tái)
1.HRM300L透反射半導(dǎo)體顯微鏡配置載物臺(tái)為日本奧林巴斯載物臺(tái)(原MX61L用):
MX-SIC1412R2 14英寸×12英寸 行程:356×305mm
(透射光照明面積:356×284mm)
2.HMR300L-M反射光半導(dǎo)體顯微鏡配置載物臺(tái)為德國(guó)載物臺(tái):EK300:; 尺寸572(W)X 400(D)mm; 行程:305(X)X305(Y)mm;


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