多晶硅。單晶硅生產廢水中，電子半導體工業生產過程產生的廢水。多晶硅生產及研磨廢水產生量大，傳統方法處理后出水的有毒、有害金屬離子.氟等不能穩定達標，由于我國水資源的時空分布非常不均，伴隨著城市用水量的逐步增加，水資源污染問題日益突出，缺水問題日益嚴重，處理后水直接排出，浪費了寶貴的水資源，必須進行水循環利用，水回用既有很高的社會和環境效益，又能降低環境排放，又能降低環境污染。未經回收的氯硅烷低沸物和.凈化分離塔的不凝氣.還原爐開停爐置換尾氣.在各系統檢修中，如置換尾氣等工藝廢氣經尾氣淋洗塔淋洗處理產生的酸性廢水，水的含量與工藝廢氣的排放.氯硅烷和的濃度直接相關。為了保證處理后的廢氣達標排放，所排放的工藝廢氣或氯硅烷中的氯硅烷含量越高，廢水的產水量就越大。該部分廢水是多晶硅生產廢水的主要成分，一般占多晶硅生產廢水的90%以上，其主要污染物為鹽酸-硅烷水解產生的Si02等，經人工或機械刮撈后的酸性廢水沿溝槽或管道排入廢水站調節池。

多晶硅生產廢水處理技術介紹

1、藥劑配制

(1)石灰乳的制備。用石灰乳攪拌槽注入一定體積的再生水，慢加200目石灰粉(OH)2含量在70%以上，連續攪拌，制備出20%的石灰乳溶液。二組石灰乳攪拌槽，一套一套，交替運行。

(2)PAC溶液的制備。A120，含量>30%.鹽基度>80%的PAC按比例緩慢添加到與回水定容相相的溶解配置攪拌槽，不停地攪動5%的PAc溶液，打開放液閥，使配制過的PAc溶液進入溶液槽用于處理系統。二套溶液槽一組，一組一組使用。

(3)制備PAM溶液。將定量的回流水注入PAM配制的攪拌槽，啟動攪拌器，分子量>l200萬的陽離子高效絮凝劑PAM人工緩慢地在槽內注入，將5%o的PAM溶液充分攪拌，然后打開放液閥，將一定量的5%oPAM溶液注入兩個溶液槽，開動溶液槽攪拌機，加回水到溶液槽中充分攪拌充分溶解制備成0.5‰的藥液，將兩組PAM溶液槽進行混合，一組采用一組組合，交替進行。該攪拌機在配制及使用過程中，要防止藥液沉淀或結膠。

2、中和

酸度廢水是由提升泵送到中和槽中和石灰乳液中和反應，因反應需要一定時間，控制不好容易導致出水pH不能滿足工藝要求。為了確保處理系統連續穩定運行，該工藝采用兩段中和槽串連，將酸性廢水從級中和槽下進入，在中和槽中下段，污水經上部溢流從二層中和槽下端進入，并在中和槽中下部與石灰乳混合，迅速反應與攪和作用。采用調節兩級中和槽投石灰乳，同時控制兩級中和槽攪拌率，使一級中和槽出水pH達到4—5，二級中和槽出水pH達到7—8。

3、混合

其混凝過程的本質是混凝荊水解物在水中的擴散，使水中膠體顆粒同時脫穩而形成凝聚，為達到良好的絮凝效果創造條件，是節約投藥量的關鍵。該技術采用管式微渦管混合器作混合裝置，在輸送泵前加入PAc溶液，泵后加入PAM溶液，PAC.PAM水解物通過湍流微渦旋和離心慣性效應，在廢水中充分擴散。因此，較好地對廢水中形成的膠粒進行了脫穩。對絮凝沉淀系統出水水質進行調節，一般控制在每立方米污水中加入5%PAC藥液6一10L，投加0.5‰。

4、絮凝沉淀

該過程利用一體化污水凈化裝置，將直流混凝.微絮凝.重力沉淀.離心分離.動態過濾.污泥濃縮等有機組合于一體，集一整套設備于一體。通過對混合液在凈化器中的慣性作用和湍流剪切力的充分利用，當廢水沿著切線方向高速進入凈化器后，在凈化器內的特殊結構下通過壓縮雙電層.吸附電中和.吸附架橋.沉淀和網捕集等，迅速形成濃密的礬花及大絮體，受霞力和離心力影響，濃密的礬花和較大的絮體顆粒滑入錐形污泥濃縮區，廢水沿罐壁向下懸流到一定程度，然后向靠攏，在上浮過程中形成的懸流不斷上升，進入動態過濾區深度處理，濾出的合格廢水由清水管道流入回用池外排放。

5、污泥處理

通過對一體化污水凈化裝置進行監測，合理安排采樣周期，將一體化污水凈化器污泥濃縮區污泥排至污泥池；開泵、板框壓濾機對污泥進行處理，并將濾水送回中間水箱進行處理，當板框壓濾機不進水時，停泵或將污泥送至另一臺板框式壓濾機，按板框壓濾機的工作程序自動排渣，濾渣經皮帶運輸機送至渣場定期外運處理。