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光學(xué)3D表面輪廓儀

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產(chǎn)品型號HSR-05系列

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更新時(shí)間：2022-08-12 11:12:09瀏覽次數(shù)：321次

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深圳市冬紅科技有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：149條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：陳（銷售經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

以非接觸的掃描方式，實(shí)現(xiàn)針對樣品表面的超高重復(fù)精度的3D測量，獲取表征樣品表面質(zhì)量的2D、3D數(shù)據(jù)。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品功能

1.粗糙度測量功能∶

從0.1nm級別的超光滑表面到數(shù)十微米級別的粗糙表面，儀器均能實(shí)現(xiàn)高精度測量，支持ISO/ASMEEUR/GBT等國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)百種2D、3D參數(shù)。

2.輪廓尺寸測量功能∶

?支持納米級高度測量和0.4um級別的線寬測量，支持80倍的槽深寬比測量，具備點(diǎn)、線、面相關(guān)的寬度、高度、角度、直徑等各類輪廓尺寸測量功能；

3.自動多區(qū)域測量功能∶

?實(shí)現(xiàn)方形、（橢）圓形外觀樣品的大范圍內(nèi)等分距離的多個(gè)小區(qū)域的自動測量；

4.自動拼接功能∶

??當(dāng)待測區(qū)域大于鏡頭單視場尺寸時(shí)，采用自動拼接功能設(shè)置好起點(diǎn)和終點(diǎn)即可一鍵完成大區(qū)域范圍的測量，同時(shí)可根據(jù)樣品表面質(zhì)量選擇高精度和高速掃描兩種模式;

5.預(yù)編程分析功能∶

?可在測量前設(shè)置好數(shù)據(jù)處理和分析流程，實(shí)現(xiàn)測量到分析的一鍵。式操作，有效縮減操作步驟；

6.同步分析功能∶

視圖與分析工具同框設(shè)計(jì)，支持視圖直接操作，分析工具實(shí)時(shí)更新分析結(jié)果，實(shí)現(xiàn)分析過程的所見即所得，大大縮減操作時(shí)間。

產(chǎn)品特點(diǎn)

復(fù)合型掃描算法：集合了PSI高精度&VSI大范圍雙重優(yōu)點(diǎn)的 EPSI掃描算法，有效覆蓋從超光滑到粗糙等所有類型樣品，無須切換，操作便捷；
自動測量功能：批量樣品測量，無須精確對焦，即可一鍵完成測量分析；
雙重防撞保護(hù)功能：Z軸上裝有防撞機(jī)械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護(hù)功能，雙重保護(hù)，多一重安心。
地面&聲波振動噪聲隔振模塊：氣浮隔振系統(tǒng)&經(jīng)過內(nèi)部抗振處理的測頭，能夠有效隔離地面振動噪聲和空氣中傳播的聲波振動噪聲，保證在嘈雜的車間環(huán)境也可正常工作；
環(huán)境噪聲檢測功能：*的環(huán)境噪聲評價(jià)功能能夠定量檢測儀器當(dāng)前所處環(huán)境的綜合噪聲數(shù)值，對儀器的調(diào)試、測試可靠性提供指導(dǎo)；
完善的售后服務(wù)體系：遵循客戶的原則，設(shè)備故障時(shí)間遠(yuǎn)程&現(xiàn)場解決，軟件免費(fèi)升級。

技術(shù)規(guī)格

型號		HSR-05	HSR-05Pro	HSR-08
光源		白光LED
標(biāo)配影像系統(tǒng)		1024×1024
標(biāo)配干涉物鏡		10×（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）
標(biāo)配視場		0.98*0.98mm
物鏡塔臺		3孔手動
XY位移平臺	尺寸	320×200mm	300×300mm	400×400mm
	移動范圍	140×110mm	200×200mm	300×300mm
	負(fù)載	10kg
	控制方式	電動
水平調(diào)整		±5°		±6°
Z軸聚焦	行程	100mm
	控制方式	電動
Z向掃描范圍		10 mm
Z向分辨率		0.1nm
可測樣品反射率		0.05%~99%
粗糙度RMS重復(fù)性		0.005nm
臺階測量		準(zhǔn)確度	重復(fù)性
		0.3% 1σ	0.08% 1σ

注：粗糙度性能參數(shù)依據(jù) ISO25178-2012 國際標(biāo)準(zhǔn)在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下測量Sa為0.2nm硅晶片Sq 參數(shù)獲得；臺階高性能參數(shù)是依據(jù) ISO4287-1997在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下測量4.7µm臺階高標(biāo)準(zhǔn)塊獲得。

應(yīng)用領(lǐng)域

可廣泛應(yīng)用于對器件表面質(zhì)量要求的半導(dǎo)體、光學(xué)加工、3C玻璃屏、薄膜制備、微納器件、納米材料、薄膜制備、超精密加工等工業(yè)企業(yè)領(lǐng)域，以及高校、科研院所和計(jì)量機(jī)構(gòu)等研究、檢測型單位。

關(guān)鍵詞：傳感器