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深圳市嘉士達精密儀器有限公司
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非接觸式單點薄層電阻測試儀EddyCusTFlab2020SR產品簡介EddyCusTFlab2020SR是一種非接觸式單點薄層電阻測量系統
非接觸式單點薄層電阻測試儀EddyCus TF lab 2020SR
產品簡介
EddyCus® TF lab 2020SR 是一種非接觸式單點薄層電阻測量系統。該設備包含一個渦流傳感器組，可將微弱電流感應到導電薄膜和材料中。樣本中的感應電流會產生與測量對象的薄層電阻相關的電磁場。該技術獨立于表面特征或形態。此外，它不需要任何類型的充分樣品接觸或準備，例如從 2 點或 4 點探針測試（2PP、4PP）或霍爾效應或范德堡測量中得知。它既不需要設置測試結構，也不受表面粗糙度或非導電封裝或鈍化層的影響。此外，測量不會對測試的薄膜產生物理影響。由于存在機械磨損，渦流儀器具有較長的使用壽命。它獨立于接觸質量和高速，可實現高重復性和準確性，有利于研發和測試實驗室中各種薄膜的系統質量保證。 EddyCus 工具可以由具有各種數據記錄和導出功能的 SURAGUS 軟件驅動，也可以由 SURAGUS 軟件開發套件驅動的客戶軟件驅動。
產品優勢
軟件和設備控制
1、非常人性化的軟件
2、直觀的觸摸顯示屏導航
3、實時測量薄層電阻和層厚
4、軟件輔助手動映射選項
5、各種數據保存和導出選項
技術參數
| 測量技術 | 非接觸式渦流傳感器 |
| 基質 | 箔、玻璃、晶片等。 |
| 基底面積 | 8英寸/ 204毫米x 204毫米(三面開口) |
| 大值樣品厚度/傳感器間隙 | 3 / 5 / 10 / 25毫米(由厚的樣品確定) |
| 金屬薄膜(如銅)的厚度測量范圍 | 2納米–2毫米(根據薄層電阻) |
| 設備尺寸(寬高比) | 11.4英寸x 5.5英寸x 17.5英寸/ 290毫米x 140毫米x 445毫米 |
| 重量 | 10公斤 |
| 更多可用功能 | 薄層電阻測量/金屬厚度監控器 |
|
| VLSR | LSR | MSR | HSR | VHSR |
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| 6 decades are measurable by one sensor, but with slightly affected accuracy | ||||
| Range [Ohm/sq] | 0.0001 – 0.1 | 0.1 – 10 | 0.1 – 100 | 10 – 2000 | 1,000 – 200,000 |
| Accuracy / Bias | ± 1% | ± 1 – 3% | ± 3 – 5% | ||
| Repeatability (2σ) | < 0.3% | < 0.5% | < 0.3% | ||
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