催化氧化是典型的氣-固相催化反應，其實質是活性氧參與的深度氧化作用。在催化氧化過程中，催化劑的作用是降低活化能，同時催化劑表面具有吸附作用，使反應物分子富集于表面提高了反應速率，加快了反應的進行。借助催化劑可使有機廢氣在較低的起燃溫度條件下，發生無焰氧化，并氧化分解為CO2和H2O，同時放出大量熱能，從而達到去除廢氣中的有害物的方法。其反應過程為：在將廢氣進行催化氧化的過程中，廢氣經管道由風機送入熱交換器，將廢氣加熱到催化氧化所需要的起燃溫度，再通過催化劑床層使之氧化，由于催化劑的存在，催化氧化的起燃溫度約為250℃~300℃，大大低于直接氧化法的氧化溫度650℃~800℃，因此能耗遠比直接氧化法為低。

    催化作用的機理是一個很復雜的問題，這里僅做簡介。在一個化學反應過程中，催化劑的加入并不能改變原有的化學平衡，所改變的僅是化學反應的速度，而在反應前后，催化劑本身的性質并不發生變化。那么，催化劑是怎樣加速了反應速度呢了既然反應前后催化劑不發生變化，那么催化劑到底參加了反應沒有?實際上，催化劑本身參加了反應，正是由于它的參加，使反應改變了原有的途徑，使反應的活化能降低，從而加速了反應速度。例如反應A+B→C是通過中間活性結合物(AB)過渡而成的，即：

A+B→[AB]→C

    其反應速度較慢。當加入催化劑K后，反應從一條很容易進行的途徑實現：

A+B+2K→[AK]+[BK]→[CK]+K→C+2K

中間不再需要[AB]向C的過渡，從而加快了反應速度，而催化劑并未改變性質。

工藝流程示意圖：

催化氧化系統特點： 
（1）處理效率高，無二次污染，凈化效率可達98%以上，確保排氣達環保排放標準；

（2）使用范圍廣，適合組分復雜，大風量、中、低濃度的揮發性有機物（VOC）及惡臭氣體；

（3）氧化溫度低，運行成本低廉，可合理利用回收余熱，節省能源、具有顯著的經濟效益；

（4）進行無焰氧化，設置多重安全設施，設備運行可靠、生產安全性能高；

（5）設備布置結構緊湊，占地面積小，節省土地和安裝費用。