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真空測量與控制

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更新時間：2021-06-30 21:22:03瀏覽次數(shù)：310次

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上海羽宸光電科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

真空測量與控制

詳細(xì)介紹

真空測量與控制

如今，此儀表用于能夠測量的真空壓強(qiáng)范圍從大氣壓(約 1000 mbar (750 Torr)) 直到 10^-12mbar/ 0.75•10^-12Torr，即1015范圍。

1. 真空計

a. 帶機(jī)械顯示的真空計

一般情況下，機(jī)械式真空計的壓力顯示是由作用在隔膜表面的壓力決定的。是直接的壓力測量（壓力）。

產(chǎn)品型號

BOURDONVAC A

Capsule vacuum gauge

DIAVAC DV 1000

主要特點

壓強(qiáng)范圍: 1 - 1020 mbar
接口法蘭: DN 16 ISO-KF

壓強(qiáng)范圍: 1 - 100 mbar
接口法蘭: DN 16 ISO-KF

刻度 mbar
壓強(qiáng)范圍: 1 - 1000 mbar
接口法蘭: DN 40 ISO-KF

刻度 Torr
壓強(qiáng)范圍: 1 - 760 Torr
接口法蘭: DN 40 ISO-KF

b. 手持式真空計

一般情況下，機(jī)械式真空計的壓力顯示是由作用在隔膜表面的壓力決定的。是直接的壓力測量（壓力）。

壓強(qiáng)范圍: 5 x 10^-4 mbar - 1200 mbar
接口法蘭: DN 16 ISO-KF

2.主動/被動型傳感器

a.變送器

主動型傳感器（CERAVAC,THERMOVAC,PENNINGVAC 和IONIVAC)直接集成于真空系統(tǒng)，顯示和操作單元可選，被動型傳感器不能單獨顯示和操作。

產(chǎn)品型號	描述	主要特征
CERAVAC-變送器	CTR電容薄膜真空計,測量范圍1000到10-5 豪巴。采用純焊接Inconel®傳感器，具有*精度（高達(dá)0.12%）和測量重復(fù)性。CTR真空計的耐腐蝕能力也使其廣泛適用于嚴(yán)苛環(huán)境和腐蝕性環(huán)境。	·壓強(qiáng)范圍: 1 x 10^-1 Torr - 1000 Torr ·接口法蘭: DN 16 ISO-KF ·連接電纜: 類型 C
THERMOVAC-變送器	THERMOVAC 變送器基于的MEMS技術(shù)和皮拉尼原理設(shè)計，具有性價比。測量范圍從10^-5到1500豪巴之間。THERMOVAC變送器耐沖擊、耐振動，測量重復(fù)性好。	·壓強(qiáng)范圍: 5 x 10^-5 mbar - 1000 mbar ·接口法蘭: DN 16 ISO-KF ·連接電纜: 類型 A
PENNINGVAC-變送器	PENNINGVAC 變送器是PTR結(jié)合了冷陰極電離原理與MEMS-皮拉尼真空規(guī)原理的全量程真空規(guī)。一臺變送器就能測量從1×10-8 mbar到大氣壓的壓強(qiáng)范圍。具有設(shè)計緊湊，量程寬泛，性價比高等特點。	·壓強(qiáng)范圍: 1 x 10^-9 mbar - 1 x 10^-2 mbar ·接口法蘭: DN 25 ISO-KF ·連接電纜: 類型 A
IONIVAC-Combi-變送器	電離變送器ITR是基于BA原則的主動型傳感器（壓力值轉(zhuǎn)換電壓值）。熱陰極發(fā)射電子轟擊陰極，撞擊到的氣體分子會被電離。	·壓強(qiáng)范圍: 5 x 10^-10 mbar - 1000 mbar ·接口法蘭: DN 25 ISO-KF ·連接電纜: 類型 C